Æ÷·³´º½º

¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç, 2ºÐ±â ÃÖ´ë¸ÅÃâ¾× ½ÃÇö<´ë½Åñû>

ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2009.07.01 07:46 ±â»çÀÔ·Â2009.07.01 07:46
±Û¾¾Å©°Ô ±Û¾¾ÀÛ°Ô ÀμâÇϱâ
´ë½ÅÁõ±ÇÀº 1ÀÏ ¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ ¼ºÀ强,»ý»ê´É·Â, ¿ø°¡°æÀï·Â µî ¼¼°¡Áö ÅõÀÚÆ÷ÀÎÆ®¿¡ ÁÖ¸ñÇ϶ó¸ç ÅõÀÚÀÇ°ß '¸Å¼ö'¿Í ¸ñÇ¥ÁÖ°¡ 12¸¸3000¿øÀ» À¯ÁöÇß´Ù.

°­Á¤¿ø ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀçÀÇ 2ºÐ±â ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾×ÀÌ Àü³â µ¿±â´ëºñ 17.4% Áõ°¡ÇÑ 473¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ 13.2% ´Ã¾î³­ 181¾ï¿øÀ¸·Î ºÐ±â ÃÖ´ë¸ÅÃâ¾×À» ½ÃÇöÇÒ °Í"À̶ó¸ç "ÀÌ´Â ½ÃÀå ÄÁ¼¾¼­½ºÀÎ ¸ÅÃâ¾× 441¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 165¾ï¿øÀ» »óȸÇÑ ¼öÄ¡"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù. ´ë¸¸ LCDÆгξ÷üÀÇ °¡µ¿·ü »ó½Â¿¡ µû¸¥ ¼öÃâ¹°·® Áõ°¡¿Í ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) ÃâÇÏ·® ±ÞÁõÀÌ ºÐ±â ÃÖ´ë¸ÅÃâ¾× ½ÃÇö¿¡ ¿µÇâÀ» Áá´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.

°­ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "¸ð³ë½Ç¶õ ÃâÇÏ·® Áõ°¡¿Í ÀϺ» ¼öÃâ¹°·® Áõ°¡°¡ ¼ºÀåÀ» °ßÀÎÇØ 3ºÐ±â¿¡µµ Ãß°¡ÀûÀÎ ½ÇÀû°³¼±ÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù"¸ç "ÇöÀç ÁøÇàÁßÀÎ NF3 Áõ¼³¶óÀÎÀÌ ¿Ï°øµÉ °æ¿ì Àü¼¼°è 1À§ »ý»ê´É·ÂÀ» È®º¸Çϱ⠶§¹®¿¡ NF3½ÃÀå 2Â÷¼ºÀå±â¿¡µµ Å« ÆøÀÇ ¼öÇý°¡ ¿¹»óµÈ´Ù"°í µ¡ºÙ¿´´Ù. ±×´Â À̾î " NF3 »ý»ê´É·ÂÀ» À§ÇÑ ÅõÀÚºñ°¡ °æÀï»ç ´ëºñ Àý¹Ý¿¡ Áö³ªÁö ¾Ê¾Æ ¿ø°¡°æÀï·Â¿¡¼­ °æÀï¾÷ü¸¦ ¾ÐµµÇÏ°í ÀÖ°í ÀÌ·¯ÇÑ ¿ø°¡°æÀï·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î °æÀï¾÷üÀÇ Ãß°¡ÀûÀÎ Áõ¼³À» ¾ïÁ¦ÇÏ°í ÀÖ´Â Á¡µµ ¸Å·ÂÀûÀÎ ÅõÀÚ¿ä¼Ò"¶ó°í °­Á¶Çß´Ù.

¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
¸ñ·Ï