Æ÷·³´º½º
ÇöóÁ ¹Ú¸·Ã³¸®Àåºñ(Single Wafer Plasma System) ¹× ÈÇбâ»óÁõÂøÀåºñ(LPCVD)¸¦ »ý»êÇÏ´Â À¯ÁøÅ×Å©°¡ ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â ¸ÅÃâ¾× 133.8¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 12.2¾ï¿ø, ´ç±â¼øÀÌÀÍ 9.1¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù°í 13ÀÏ ¹àÇû´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â ¸ÅÃâ¾×Àº Àü³â µ¿±â´ëºñ 273% Áõ°¡ÇßÀ¸¸ç, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ ¹× ´ç±â¼øÀÌÀ͵µ °¢°¢ 200% ´Ã¾î³ª ÈæÀÚÀüȯ¿¡ ¼º°øÇß´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "¼ÒÀÚ ¹Ì¼¼È Ãß¼¼¿¡ µû¸¥ Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡ ¿¬ÀÌÀº °ø±Þ°è¾àÀÌ Ã¼°áµÇ¸é¼ 2ºÐ±âºÎÅÍ ¸ÅÃâ °¡½ÃÈ°¡ º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀ۵ƴÙ"¸ç "2ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×Àº Áö³ÇØ µ¿±â´ëºñ 1832%¼ºÀåÇÑ 113.6¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇß´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
±×´Â ¶Ç "¿¬ÀÌÀº ¼ÒÀÚ ¹Ì¼¼È °øÁ¤ ÁøÀÔÀ¸·Î ¼ÒÀÚ¾÷üÀÇ º»°ÝÀûÀÎ Ãß°¡ °øÀå Áõ¼³À̳ª ¼³ºñ ÅõÀÚ°¡ ÇϹݱâ ÀÌÈÄ ÀϾ °æ¿ì ÇâÈÄ ¸ÅÃâÀº ´õ ºü¸£°Ô Áõ°¡ÇÒ °Í"À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÇÑÆí À¯ÁøÅ×Å©´Â À̳¯ ±¹³»¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü¿ÍÀÇ 27¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇÔ¿¡ µû¶ó 3ºÐ±â ÇöÀç ´©Àû ¼öÁÖ½ÇÀûÀÌ 74.4¾ï¿¡ ´ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. À̳¯ °ø½ÃÇÑ »ó¹Ý±â ¸ÅÃâÀÇ 50%¸¦ »óȸÇÏ´Â ½ÇÀûÀÌ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©´Â Áö³ÇØ 95¾ï¿øÀÇ ´Ü±âÂ÷ÀÔ±Ý Áß 45¾ï¿øÀ» ÀÌ´Þ 10ÀÏ Á¶±â»óȯÇÔÀ¸·Î½á ´Ü±âÂ÷ÀÔ±Ý ÃѾ×À» 50¾ï¿ø, ºÎäºñÀ²µµ 68%¿¡¼ 51%·Î ÁÙÀ̱⵵ Çß´Ù.
¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â ¸ÅÃâ¾×Àº Àü³â µ¿±â´ëºñ 273% Áõ°¡ÇßÀ¸¸ç, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ ¹× ´ç±â¼øÀÌÀ͵µ °¢°¢ 200% ´Ã¾î³ª ÈæÀÚÀüȯ¿¡ ¼º°øÇß´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "¼ÒÀÚ ¹Ì¼¼È Ãß¼¼¿¡ µû¸¥ Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡ ¿¬ÀÌÀº °ø±Þ°è¾àÀÌ Ã¼°áµÇ¸é¼ 2ºÐ±âºÎÅÍ ¸ÅÃâ °¡½ÃÈ°¡ º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀ۵ƴÙ"¸ç "2ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×Àº Áö³ÇØ µ¿±â´ëºñ 1832%¼ºÀåÇÑ 113.6¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇß´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
±×´Â ¶Ç "¿¬ÀÌÀº ¼ÒÀÚ ¹Ì¼¼È °øÁ¤ ÁøÀÔÀ¸·Î ¼ÒÀÚ¾÷üÀÇ º»°ÝÀûÀÎ Ãß°¡ °øÀå Áõ¼³À̳ª ¼³ºñ ÅõÀÚ°¡ ÇϹݱâ ÀÌÈÄ ÀϾ °æ¿ì ÇâÈÄ ¸ÅÃâÀº ´õ ºü¸£°Ô Áõ°¡ÇÒ °Í"À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.
ÇÑÆí À¯ÁøÅ×Å©´Â À̳¯ ±¹³»¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü¿ÍÀÇ 27¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ °ø±Þ°è¾àÀ» ü°áÇÔ¿¡ µû¶ó 3ºÐ±â ÇöÀç ´©Àû ¼öÁÖ½ÇÀûÀÌ 74.4¾ï¿¡ ´ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. À̳¯ °ø½ÃÇÑ »ó¹Ý±â ¸ÅÃâÀÇ 50%¸¦ »óȸÇÏ´Â ½ÇÀûÀÌ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©´Â Áö³ÇØ 95¾ï¿øÀÇ ´Ü±âÂ÷ÀÔ±Ý Áß 45¾ï¿øÀ» ÀÌ´Þ 10ÀÏ Á¶±â»óȯÇÔÀ¸·Î½á ´Ü±âÂ÷ÀÔ±Ý ÃѾ×À» 50¾ï¿ø, ºÎäºñÀ²µµ 68%¿¡¼ 51%·Î ÁÙÀ̱⵵ Çß´Ù.
¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>