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ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2009.08.13 14:02 ±â»çÀÔ·Â2009.08.13 14:02
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ÇöóÁ ¹Ú¸·Ã³¸®Àåºñ(Single Wafer Plasma System) ¹× È­Çбâ»óÁõÂøÀåºñ(LPCVD)¸¦ »ý»êÇÏ´Â À¯ÁøÅ×Å©°¡ ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â ¸ÅÃâ¾× 133.8¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 12.2¾ï¿ø, ´ç±â¼øÀÌÀÍ 9.1¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù°í 13ÀÏ ¹àÇû´Ù.

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¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
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