Æ÷·³´º½º

ÇÏÀ̴нº, »ó»ýÇù·Â 4Â÷»ç¾÷ µ¹ÀÔ

ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2018.09.08 23:47 ±â»çÀÔ·Â2009.09.29 09:32
±Û¾¾Å©°Ô ±Û¾¾ÀÛ°Ô ÀμâÇϱâ


[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¿ì°æÈñ ±âÀÚ]ÇÏÀ̴нº¹ÝµµÃ¼(´ëÇ¥ ±èÁ¾°©)°¡ »êÇп¬ ¿¬°è·Î ÁøÇà ÁßÀÎ ¡®»ó»ýÇù·Â ÇÁ·Î±×·¥¡¯ ÀÇ ´ëÇ¥ »ç¾÷ÀÎ ¡®¼º´ÉÆò°¡ Çù·Â»ç¾÷¡¯ÀÌ ³»´Þ 4Â÷ »ç¾÷À» ¸Â´Â´Ù.

ÇÏÀ̴нºÀÇ '»ó»ýÇù·Â ÇÁ·Î±×·¥¡¯Àº 2006³âºÎÅÍ ÁøÇàµÆ´Ù. Áö½Ä°æÁ¦ºÎ¿Í ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀÚ ¾÷üµéÀÌ Âü¿©ÇÑ ´ë±â¾÷°ú Áß¼Ò ±â¾÷°£ »ó»ýÇù·Â È°µ¿ÀÌ ÁÖ¿ä ³»¿ëÀÌ´Ù. ¾ç»ê Àåºñ¸¦ °ËÁõÇØ ÁÖ´Â ¡®¼º´ÉÆò°¡ Çù·Â»ç¾÷¡¯°ú Çù·Â»ç¿¡°Ô ÀÚ±ÝÀ» Áö¿øÇØ ÁÖ´Â ¡®»ó»ýº¸ÁõÆݵ塯, Çù·Â»çÀÇ ¿¬±¸°³¹ßÀ» Áö¿øÇÏ´Â ¡®¿øõ±â¼ú »ó¿ëÈ­¡¯ »ç¾÷À¸·Î ±¸¼ºµÆ´Ù.

4Â÷ »ç¾÷ÀÌ ½ÃÀÛµÉ ¡®¼º´ÉÆò°¡ Çù·Â»ç¾÷¡¯Àº ±¹³» Àåºñ¡¤Àç·á ¾÷üµéÀÇ ÇØ¿Ü ½ÃÀå ÁøÃâÀ» µ½±â À§ÇØ ¼ÒÀÚ ¾÷üµéÀÌ ¿î¿ëÇÏ°í ÀÖ´Â ÆÕ¿¡¼­ ½ÅÁ¦Ç°ÀÇ ¼º´ÉÀ» Æò°¡ÇØ ÁÖ´Â Çù·Â»ç¾÷ÀÌ´Ù.

ÇÏÀ̴нº´Â 2007³âºÎÅÍ ¼º´ÉÆò°¡ Çù·Â»ç¾÷À» Àû±ØÀûÀ¸·Î ÃßÁøÇØ ±¹³» Àåºñ¡¤Àç·á Á¦Ç°ÀÇ ¼º´ÉÀ» °ËÁõÇØ¿Ô´Ù. ±×°£ ¼ÒÀÚ ¾÷ü·Î´Â °¡Àå ¸¹Àº 45°³ÀÇ Ç°¸ñ Áß 43°³ Ç°¸ñÀÇ Æò°¡¸¦ ¿Ï·áÇß´Ù. ÀÌ´Â ÃÑ 2931¾ï ¿øÀÇ Àåºñ¡¤Àç·á Á¦Ç°ÀÇ ½ÇÁ¦ ±¸¸Å·Î ¿¬°áµÆ´Ù.

ÇÏÀ̴нº´Â À̹ø 4Â÷ »ç¾÷À» ÅëÇØ À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ÁõÂø ÀåºñÀÎ ÇöóÁ µµÇÎ(Plasma Doping)À» Æ÷ÇÔÇÑ 4°³»ç 4°³ Àåºñ¿Í Å×Å©³ë¼¼¹ÌÄÍÀÇ ½½·¯¸®(Cu CMP Slurry)¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ 4°³»ç 4°³ Àç·á¿¡ Âü¿©ÇÑ´Ù. À̹ø ´Þ ¸»±îÁö Çù¾à¼­¸¦ ü°áÇÏ°í ³»´ÞºÎÅÍ ³»³â 3¿ù±îÁö ¼º´ÉÆò°¡¸¦ ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

¿ì°æÈñ ±âÀÚ khwoo@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>

¿ì°æÈñ ±âÀÚ khwoo@asiae.co.kr
<¨Ï¾Æ½Ã¾Æ ´ëÇ¥ ¼®°£ '¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦' (www.newsva.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>

¸ñ·Ï