[아시아경제 이경호 기자] 삼성전자와 하이닉스가 수요기업으로 참여해 중소기업과 반도체 핵심장비를 공동개발하는 사업에 향후 3년간 600억원이 투입된다.

지식경제부는 수요기업의 구매연계형 기술개발을 통해 반도체장비기업을 육성하는 '반도체장비 상용화 기술개발 사업'을 이달부터 2012년 11월까지 3년간 총사업비 약 600억원(정부 359억5000만원, 민간 225억원)을 투입한다고 7일 밝혔다.

이 사업은 수요기업 투자계획과 장비개발과의 연계를 통해 핵심과제를 공동 기술개발하고 성능조건을 충족시 수요기업이 구매를 확약하는 사업. 향후 3년간 상용화 7개 과제와 원천기술 5개 과제 등 12개 과제가 추진된다.

삼성전자와 하이닉스는 상용화 7개 과제에 공동구매 혹은 단독구매 형태로 구매확약을 한다. 유진테크와 디엠에스, 케씨텍 등 3개사는 삼성과 하이닉스 양사로부터 구매를 확약을 바탕으로 이들과 공공기술을 개발한다. 에스앤유(SNU) 프리시젼, 국제일렉트릭코리아는 삼성전자와, 에이피티씨(APTC), 주성엔지니어링은 하이닉스와의 구매확약을 바탕으로 기술개발에 나서게 된다.

이들 중소기업들은 3년간 정부의 R&D자금 지원을 받으면서 삼성전자와 하이닉스와 함께 외국 장비업체들이 아직 양산하지 않는 차세대 장비와 30nm 이하 반도체 생산에 사용되는 핵심 반도체장비를 개발하게 된다.

아울러, 이번 선정된 5개 원천기술 개발과제는 차세대 메모리소자(PRAM, ReRAM) 및 450mm 차세대 웨이퍼에 대비한 공정장비 관련 원천기술 개발, 차세대 초고속 검사장비의 핵심부분품 ASIC칩 개발등이다.

지경부는 이번 사업이 성공적으로 수행될 경우 개발되는 7개 반도체장비의 경우 2013년 이후 5년간 연간 2500억원씩 총 1조2000억원의 매출을 올릴 것으로 기대하고 있다.

박태성 반도체디스플레이과 과장은 "세계 1, 2위 메모리 반도체기업의 구매ㆍ평가ㆍ인증으로 국내 개발 장비의 국제적 신뢰성을 확보하여 해외 수출이 크게 확대될 것"이라며 "수요기업과의 공동개발, 공동구매 등으로 장비교차구매가 활성화 되어 국내 장비기업의 수직계열화를 완화하고 대형화를 촉진할 것으로 보인다"고 말했다.

이경호 기자 gungho@asiae.co.kr
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