[아시아경제 박선미 기자]에스엔유프리시젼은 8일 지식경제부 주관 '반도체 장비 상용화 기술개발 사업'의 사업자로 선정됐다고 공시했다.

이번 사업은 3년에 걸쳐 정부로부터 지원 받아 반도체의 집적도와 반도체 생산의 수율에 직접적인 영향을 미치는 CD(Critical Dimension, 임계치수)값을 인라인 공정중에서 측정하는 전자현미경 장비를 개발하는 것이다. 외국기업이 100%의 시장점유율을 가진 반도체측정장비의 국산화 사업이다.

에스엔유, 삼성전자, 서울대학교, 서울테크노파크가 컨소시엄을 구성해 연간 8억2500만원의 정부지원금을 받게 된다. 회사측은 "에스엔유가 주관해 CD SEM 장비를 개발하고 삼성전자는 인라인 테스트 및 장비의 성능평가를 담당할 것으로 예상된다"며 "관련 핵심기술과 부품에 대한 국산화가 이미 상당히 준비가 된 상태로 이번 상용화 사업이 성공적으로 이뤄질 경우 반도체 주요 고객인 삼성전자등에 공급이 가능할 것”이라고 밝혔다. 또 "LCD, OLED, 태양광 장비사업과 더불어 반도체사업이 당사의 차세대 성장동력이 될 것으로 기대한다”고 덧붙였다.

박선미 기자 psm82@asiae.co.kr
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