Æ÷·³´º½º
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ]À¯ÁøÅ×Å©°¡ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í 78¾ï8700¸¸¿ø ±Ô¸ðÀÇ Àåºñ °ø±Þ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í 23ÀÏ °ø½ÃÇß´Ù. Áö³ÇØ ¸ÅÃâ ´ëºñ 83.1% ±Ô¸ð´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©´Â ¡°¿ÃÇØ ÇöóÁ ÀåºñÀÇ ¼öÁÖÈ®´ë°¡ ³»³â¿¡µµ À¯Áö µÉ Àü¸ÁÀε¥, 2010³âºÎÅÍ´Â LP-CVD ÀåºñÀÇ ¸ÅÃâ ¼ºÀåµµ ±â´ë µÈ´Ù¡±¸ç ¡°Â÷¼¼´ë ³½µåÇ÷¡½ÃÀÇ Ç÷ÎÆà °ÔÀÌÆ®¿¡ Àû¿ëµÇ´Â LP-CVDÀåºñ°¡ 4xnm´ë ÀÌÇÏÀÇ ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÉ Àü¸ÁÀÌ¶ó¼ ±àÁ¤ÀûÀÎ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
À¯ÁøÅ×Å©´Â ¡°¿ÃÇØ ÇöóÁ ÀåºñÀÇ ¼öÁÖÈ®´ë°¡ ³»³â¿¡µµ À¯Áö µÉ Àü¸ÁÀε¥, 2010³âºÎÅÍ´Â LP-CVD ÀåºñÀÇ ¸ÅÃâ ¼ºÀåµµ ±â´ë µÈ´Ù¡±¸ç ¡°Â÷¼¼´ë ³½µåÇ÷¡½ÃÀÇ Ç÷ÎÆà °ÔÀÌÆ®¿¡ Àû¿ëµÇ´Â LP-CVDÀåºñ°¡ 4xnm´ë ÀÌÇÏÀÇ ¹Ì¼¼ °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÉ Àü¸ÁÀÌ¶ó¼ ±àÁ¤ÀûÀÎ ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>