[아시아경제 최장준 기자] 한국표준과학연구원(KRISS)은 8일 ‘이달의 KRISS인상’으로 김정형(43) 박사를 선정했다고 밝혔다.

김 박사는 세계 처음 플라즈마 진공공정 중 식각(경사면이 수평면과 이루는 각도)장비에 쓰는 공정플라즈마 전자밀도의 절대값을 재는 기술을 개발했다.

이 기술은 같은 장비라도 같은 공정조건에서 다른 결과를 보이는 현상을 알 수 있고 공정 중 이상변화를 실시간으로 확인할 수 있다.

또 반도체, 디스플레이 등의 일부 분야에만 쓰던 플라즈마를 첨단소재 등 여러 분야에서도 이용할 수 있다.

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최장준 기자 thispro@asiae.co.kr
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