[아시아경제 박형수 기자]시노펙스가 CMP 필터를 국내 최초로 국산화하는데 성공했다고 21일 밝혔다.

CMP필터는 반도체 제조 공정 중 핵심공정인 웨이퍼 연마에 사용되는 용액인 슬러리를 여과하는데 사용되는 필터다.
그동안 첨단 반도체 제조 공정 특성상 높은 신뢰성과 품질이 유지돼야 하기 때문에 전량 수입에 의존해 왔다고 회사측 관계자가 설명했다.

시노펙스는 이번에 개발된 CMP필터는 2년여 간의 연구개발 끝에 자체 기술력으로 0.2마이크로(um)크기로 필터의 기공을 균일하게 만드는데 성공했으며 양산제품 공급을 확대 중이라고 전했다.

손경익 시노펙스 대표는 "국내 반도체 및 LCD 공정에 사용되는 고성능 필터 시장이 연간 약 3000억원 규모"라며 "시노펙스는 나노급 필터 제품을 생산할 수 있는 기술력을 바탕으로 고성능 필터시장을 대체해 나갈 계획"이라고 강조했다.

시노펙스는 CMP필터 개발로 기술력을 입증 받아 국내외 반도체 제조사 및 슬러리제조사 등에 공급을 확대 중에 있으며 대기업으로부터 CMP필터뿐 아니라 POU 필터 등을 추가 개발요청을 받고 있다.

시노펙스는 반도체용 필터뿐 아니라 최근에 바이오용 필터 개발에 성공, 국내 최초로 미국 FDA 승인을 받아 제약 및 식음료용 필터 시장에도 진출하고 있다.

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박형수 기자 parkhs@asiae.co.kr
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