Æ÷·³´º½º
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ]À¯ÁøÅ×Å©´Â ÇÏÀ̴нº¿Í 35¾ï6400¸¸¿ø ±Ô¸ð Àåºñ °ø±Þ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í 28ÀÏ °ø½ÃÇß´Ù
À¯ÁøÅ×Å©´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿¡ ¾ø¾î¼´Â ¾È µÇ´Â Çʼö ÀåºñÀÎ LP-CVD ¹× ÇöóÁ ÀåºñÀÇ »ý»ê±â¼úÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. ȸ»çÃøÀº "ÇöÀç Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» ¼±µµÇÏ°í ÀÖ´Â ±¹³» ¼ÒÀÚ¾÷üÀÇ ½ÇÀû °³¼± ¹× ÅõÀÚ È®´ë¿¡ µû¸¥ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¼öÇý°¡ ¿¹»óµÇ°í ÀÖ¾î Áö³ÇØ¿¡ ÀÌ¾î ¿ÃÇØ¿¡µµ ³ôÀº ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
[¼º°øÅõÀÚ ÆÄÆ®³Ê] ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ Áõ±Ç¹æ¼Û - ¼±Âø¼ø °æÇ°Á¦°ø À̺¥Æ®
¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
À¯ÁøÅ×Å©´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¿¡ ¾ø¾î¼´Â ¾È µÇ´Â Çʼö ÀåºñÀÎ LP-CVD ¹× ÇöóÁ ÀåºñÀÇ »ý»ê±â¼úÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. ȸ»çÃøÀº "ÇöÀç Àü¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» ¼±µµÇÏ°í ÀÖ´Â ±¹³» ¼ÒÀÚ¾÷üÀÇ ½ÇÀû °³¼± ¹× ÅõÀÚ È®´ë¿¡ µû¸¥ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¼öÇý°¡ ¿¹»óµÇ°í ÀÖ¾î Áö³ÇØ¿¡ ÀÌ¾î ¿ÃÇØ¿¡µµ ³ôÀº ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÇ°í ÀÖ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
[¼º°øÅõÀÚ ÆÄÆ®³Ê] ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ Áõ±Ç¹æ¼Û - ¼±Âø¼ø °æÇ°Á¦°ø À̺¥Æ®
¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>