Æ÷·³´º½º
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÀÌ°æÈ£ ±âÀÚ] ÃÖ±Ù »ï¼º¹ÝµµÃ¼ÀÇ Çٽɱâ¼úÀÌ ÇÏÀ̴нº·Î ¹«´õ±â À¯ÃâµÅ Ãæ°ÝÀ» ÁØ °¡¿îµ¥ ¹ÝµµÃ¼¾÷°è°¡ ±¹°¡Çٽɱâ¼ú¹× Àåºñ°³¹ß¿¡ ´ëÇÑ ¹®´Ü¼ÓÀ» °ÈÇÏ°í ³ª¼¹´Ù.
Áö½Ä°æÁ¦ºÎ´Â 11ÀÏ Æ÷½ºÄÚŸ¿ö¿¡¼ '¹ÝµµÃ¼¾÷°è »ó»ýÇù·Â »ç¾÷ Á¡°ËȸÀÇ'¸¦ ¿°í »êÇп¬ °øµ¿ R&D »ç¾÷ÀÇ ±â¼úº¸¾È ÇöȲ°ú °È¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù. À̳¯ ȸÀÇ¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼±â¼úÀ¯ÃâÀÇ ´ç»çÀÚÀÌ¸é¼ ÀÌ »ç¾÷ÀÇ ¼ö¿ä±â¾÷À̱⵵ ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÏÀ̴нº ÀÓ¿øµµ Âü¼®Çß´Ù.
¹ÚÀç±Ù Â÷¼¼´ë¸Þ¸ð¸® »ç¾÷´ÜÀå(ÇѾç´ë ±³¼ö)´Â "°³¹ß°øÁ¤ ·¹½ÃÇÇ °ø°³Â÷´Ü ½Ã½ºÅÛ, Ŭ¸°·ë ÃâÀÔ »çÀü ¿¹°íÁ¦, Ŭ¸°·ë º¸¾È»óÅ ¸ð´ÏÅ͸µ ±¸Ãà µîÀ» ÅëÇØ Â÷¼¼´ë¸Þ¸ð¸® Çٽɱâ¼úÀÇ À¯ÃâÀ» ¹æÁöÇÒ °èȹ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù. »êÇп¬ °øµ¿À¸·Î ¿¬±¸°¡ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® °øµ¿°³¹ß ¼¾ÅÍ¿¡¼ Çٽɱâ¼úÀÌ ¿ÜºÎ·Î ºüÁ®³ª°¡´Â °ÍÀ» ¿øõÀûÀ¸·Î ÅëÁ¦ °ü¸®ÇÏ°Ú´Ù´Â °Í.
±è¿ëÅ Àåºñ»ó¿ëÈ »ç¾÷´ÜÀå((KIST Ã¥ÀÓ¿¬±¸¿ø)Àº "¼ö¿ä±â¾÷ °øµ¿±¸¸Å¿¬°èÇü R&D °úÁ¦ÀÇ °æ¿ì ¼ö¿ä±â¾÷ÀÇ Çٽɱâ¼úÀ» Àåºñ±â¾÷ÀÌ Á¢ÇÒ ±âȸ°¡ ¸¹Àº Á¡À» °í·ÁÇØ 3¿ù Áß ¼ÒÀÚ±â¾÷°ú ÇÔ²² ±¹Ã¥R&D¸¦ ÁøÇàÇÏ´Â Àåºñ±â¾÷À» ´ë»óÀ¸·Î º¸¾È°ü¸® ½ÇŸ¦ Á¡°ËÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù. ¼ö¿ä±â¾÷ °øµ¿±¸¸Å¿¬°èÇü R&D´Â Á¤ºÎ°¡ R&D ÀÚ±ÝÀ» Áö¿øÇÏ°í, »ï¼º, ÇÏÀ̴нº°¡ °øµ¿À¸·Î ±¸¸ÅÈ®¾àÇÏ°í ±â¼ú°³¹ßÀ» Áö¿øÇØ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ´Â »ç¾÷À¸·Î À¯ÁøÅ×Å©°¡ ºØ¼Ò µµÇÎ ½Ç¸®ÄÜÃþÀ» ÁõÂøÇØÁÖ´Â LP-CVD(ÁõÂø±â), µð¿¥¿¡½º°¡ 25³ª³ë »êȹ° µå¶óÀÌ¿¡Ã³(°Ç½Ä½Ä°¢±â), ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ±¸¸® ¹è¼±°øÁ¤¿¡¼ Ç¥¸éÀ» ÆòźÈÇØÁÖ´Â Cu-CMP µî 3°³ °úÁ¦°¡ ¼±Á¤µÆ´Ù.
Áö°æºÎ °ü°èÀÚ´Â "¼ö¿ä±â¾÷°ú Àåºñ±â¾÷Àº ¾÷¹«°ü·Ã ºñ¹ÐÀ¯Áö°è¾àÀ» ü°áÇÏ¿©, Àåºñ±â¾÷Àº ¼ö¿ä±â¾÷º° ´ã´çÁöÁ¤Á¦, ¹®¼º¸¾È, ISO º¸¾ÈÀÎÁõ µîÀÇ ÁÖ¿ä º¸¾ÈÈ°µ¿À» ÁøÇàÁß"À̶ó°í ÀüÇß´Ù.
Àü»óÇå Áö°æºÎ Á¤º¸Åë½Å»ê¾÷Á¤Ã¥°üÀº "»ó»ýÇù·ÂÀº ¾÷°è°£ »óÈ£½Å·Ú¿Í °ÇÀüÇÑ ±â¾÷ À±¸®ÀÇ ±â¹Ý ¾Æ·¡, Àû±ØÀûÀÎ Âü¿©¿Í ÇùÁ¶·Î »ç¾÷ÀÇ ¼ºÆа¡ °áÁ¤µÈ´Ù"¸é¼ "Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® °³¹ß, ¹ÝµµÃ¼Àåºñ »ó¿ëÈ µî °¢ »ç¾÷´ÜÀº ±â¼úÀ¯Ãâ ¹æÁö¸¦ À§ÇÑ »õ·Î¿î º¸¾È½Ã½ºÅÛÀ» Â÷Áú¾øÀÌ ÁøÇàÇÏ°í ¾÷°è´Â ¼º°øÀû »ç¾÷ÁøÇàÀ» À§ÇØ Àû±Ø ÇùÁ¶ÇØ´Þ¶ó"°í ´çºÎÇß´Ù.
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ Áõ±Ç¹æ¼Û] - Á¾¸ñ ¼öÀÍ·ü 100% µû¶óÇϱâ
ÀÌ°æÈ£ ±âÀÚ gungho@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
Áö½Ä°æÁ¦ºÎ´Â 11ÀÏ Æ÷½ºÄÚŸ¿ö¿¡¼ '¹ÝµµÃ¼¾÷°è »ó»ýÇù·Â »ç¾÷ Á¡°ËȸÀÇ'¸¦ ¿°í »êÇп¬ °øµ¿ R&D »ç¾÷ÀÇ ±â¼úº¸¾È ÇöȲ°ú °È¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù. À̳¯ ȸÀÇ¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼±â¼úÀ¯ÃâÀÇ ´ç»çÀÚÀÌ¸é¼ ÀÌ »ç¾÷ÀÇ ¼ö¿ä±â¾÷À̱⵵ ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÏÀ̴нº ÀÓ¿øµµ Âü¼®Çß´Ù.
¹ÚÀç±Ù Â÷¼¼´ë¸Þ¸ð¸® »ç¾÷´ÜÀå(ÇѾç´ë ±³¼ö)´Â "°³¹ß°øÁ¤ ·¹½ÃÇÇ °ø°³Â÷´Ü ½Ã½ºÅÛ, Ŭ¸°·ë ÃâÀÔ »çÀü ¿¹°íÁ¦, Ŭ¸°·ë º¸¾È»óÅ ¸ð´ÏÅ͸µ ±¸Ãà µîÀ» ÅëÇØ Â÷¼¼´ë¸Þ¸ð¸® Çٽɱâ¼úÀÇ À¯ÃâÀ» ¹æÁöÇÒ °èȹ"À̶ó°í ¸»Çß´Ù. »êÇп¬ °øµ¿À¸·Î ¿¬±¸°¡ ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® °øµ¿°³¹ß ¼¾ÅÍ¿¡¼ Çٽɱâ¼úÀÌ ¿ÜºÎ·Î ºüÁ®³ª°¡´Â °ÍÀ» ¿øõÀûÀ¸·Î ÅëÁ¦ °ü¸®ÇÏ°Ú´Ù´Â °Í.
±è¿ëÅ Àåºñ»ó¿ëÈ »ç¾÷´ÜÀå((KIST Ã¥ÀÓ¿¬±¸¿ø)Àº "¼ö¿ä±â¾÷ °øµ¿±¸¸Å¿¬°èÇü R&D °úÁ¦ÀÇ °æ¿ì ¼ö¿ä±â¾÷ÀÇ Çٽɱâ¼úÀ» Àåºñ±â¾÷ÀÌ Á¢ÇÒ ±âȸ°¡ ¸¹Àº Á¡À» °í·ÁÇØ 3¿ù Áß ¼ÒÀÚ±â¾÷°ú ÇÔ²² ±¹Ã¥R&D¸¦ ÁøÇàÇÏ´Â Àåºñ±â¾÷À» ´ë»óÀ¸·Î º¸¾È°ü¸® ½ÇŸ¦ Á¡°ËÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù. ¼ö¿ä±â¾÷ °øµ¿±¸¸Å¿¬°èÇü R&D´Â Á¤ºÎ°¡ R&D ÀÚ±ÝÀ» Áö¿øÇÏ°í, »ï¼º, ÇÏÀ̴нº°¡ °øµ¿À¸·Î ±¸¸ÅÈ®¾àÇÏ°í ±â¼ú°³¹ßÀ» Áö¿øÇØ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ´Â »ç¾÷À¸·Î À¯ÁøÅ×Å©°¡ ºØ¼Ò µµÇÎ ½Ç¸®ÄÜÃþÀ» ÁõÂøÇØÁÖ´Â LP-CVD(ÁõÂø±â), µð¿¥¿¡½º°¡ 25³ª³ë »êȹ° µå¶óÀÌ¿¡Ã³(°Ç½Ä½Ä°¢±â), ÄÉÀ̾¾ÅØÀÌ ±¸¸® ¹è¼±°øÁ¤¿¡¼ Ç¥¸éÀ» ÆòźÈÇØÁÖ´Â Cu-CMP µî 3°³ °úÁ¦°¡ ¼±Á¤µÆ´Ù.
Áö°æºÎ °ü°èÀÚ´Â "¼ö¿ä±â¾÷°ú Àåºñ±â¾÷Àº ¾÷¹«°ü·Ã ºñ¹ÐÀ¯Áö°è¾àÀ» ü°áÇÏ¿©, Àåºñ±â¾÷Àº ¼ö¿ä±â¾÷º° ´ã´çÁöÁ¤Á¦, ¹®¼º¸¾È, ISO º¸¾ÈÀÎÁõ µîÀÇ ÁÖ¿ä º¸¾ÈÈ°µ¿À» ÁøÇàÁß"À̶ó°í ÀüÇß´Ù.
Àü»óÇå Áö°æºÎ Á¤º¸Åë½Å»ê¾÷Á¤Ã¥°üÀº "»ó»ýÇù·ÂÀº ¾÷°è°£ »óÈ£½Å·Ú¿Í °ÇÀüÇÑ ±â¾÷ À±¸®ÀÇ ±â¹Ý ¾Æ·¡, Àû±ØÀûÀÎ Âü¿©¿Í ÇùÁ¶·Î »ç¾÷ÀÇ ¼ºÆа¡ °áÁ¤µÈ´Ù"¸é¼ "Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® °³¹ß, ¹ÝµµÃ¼Àåºñ »ó¿ëÈ µî °¢ »ç¾÷´ÜÀº ±â¼úÀ¯Ãâ ¹æÁö¸¦ À§ÇÑ »õ·Î¿î º¸¾È½Ã½ºÅÛÀ» Â÷Áú¾øÀÌ ÁøÇàÇÏ°í ¾÷°è´Â ¼º°øÀû »ç¾÷ÁøÇàÀ» À§ÇØ Àû±Ø ÇùÁ¶ÇØ´Þ¶ó"°í ´çºÎÇß´Ù.
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ Áõ±Ç¹æ¼Û] - Á¾¸ñ ¼öÀÍ·ü 100% µû¶óÇϱâ
ÀÌ°æÈ£ ±âÀÚ gungho@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>