[아시아경제 박형수 기자]시노펙스는 12일 웨이퍼 가공시 발생하는 폐수를 재활용 하는 웨이퍼 가공 폐액재활용 시스템을 개발했다고 밝혔다.

웨이퍼가공폐액 재활용 시스템이 반도체 제조 공정 중 발생하는 웨이퍼 폐수 속의 각종 물질을 분리·정제해 깨끗한 물로 처리해주는 설비라고 소개했다.

기존 방식은 원심력을 이용한 분리기로 물질을 분리하거나 생물학적 처리 및 소각 등의 과정을 거쳐야 했으나 시노펙스는 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템을 이용해 폐수의 98%이상을 재활용할 수 있다고 강조했다.

손경익 시노펙스 대표는 "웨이퍼 가공 폐액재활용 시스템은 산업현장의 친환경 설비로 현재 특허 출원 준비 중"이라며 "기술력을 바탕으로 앞으로 국내뿐만 아니라 세계 시장의 진출 등도 준비하고 있다"고 말했다.

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박형수 기자 parkhs@
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