[아시아경제 조인경 기자] 주성엔지니어링은 전력을 안정적으로 공급해 균일한 플라즈마를 발생시키는 고주파전원 공급장치에 대해 특허권을 취득했다고 15일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화에 활용될 것"이라고 설명했다.

조인경 기자 ikjo@
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