한형석 박사

[아시아경제 김철현 기자]최근 반도체, 디스플레이 산업 분야에서 높은 청정도가 요구되고 있는 가운데 '자기부상 비접촉 무분진 운반장치'가 개발돼 관심이 집중되고 있다.

한국기계연구원(원장 이상천)은 자기부상연구실 한형석 박사팀이 충남 디스플레이 R&D클러스터 사업의 지원을 받아 에버테크노와 공동으로 자기부상열차의 기술을 활용해 첨단 클린룸 물류장비인 '자기부상 무분진 운반장치'를 개발했다고 16일 밝혔다.

기계연에 따르면 기존 롤러를 이용한 접촉식 방식은 분진과 진동으로 인해 높은 청정도가 요구되는 클린룸에서 사용에 어려움을 겪었다. 하지만 이번에 개발된 '자기부상 무분진 운반장치'는 비접촉식 방식을 적용해 분진과 진동이 없는 친환경적인 기술이라는 것이 연구원 측의 설명이다.

또한 자기부상 무분진 운반장치는 기존 롤러 장치에 비해 속도가 10배 빨라졌으며 한 번에 옮길 수 있는 양도 증가했다. 무엇보다 분진 발생이 없는 최대 장점으로 인해 먼지흡입기 유지보수비가 줄 것으로 기대된다.

영구자석 적용으로 부상을 위한 전기에너지 소모가 적다는 것도 이번 기술의 특징이다. 이로 인해 전자석의 용량 및 주변 전력장치를 가볍게 만들 수 있어 부상안정성 향상 및 고속 이동이 가능하다는 장점도 있다고 연구원 관계자는 설명했다.

연구책임자인 한형석 박사는 "이번 기술의 무분진, 저진동 장점은 반도체, LCD뿐만 아니라 의약품, 식품 생산라인에도 적용 가능하다"고 밝혔다. 이번 '자기부상 무분진 운반장치'는 올해 말까지 신뢰성 검사를 마친 후 LCD 및 반도체의 청정 생산공정에 바로 적용될 예정이다.

한편 반도체, LCD 등 청정 물류장비분야의 2014년 산업규모는 국내시장 2700억원, 세계시장 1조5000억원으로 예상되며, 이번 기술은 향후 청정 물류 이송시스템의 핵심기술로 활용될 수 있을 것으로 기대를 모으고 있다.

김철현 기자 kch@
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