[아시아경제 강미현 기자]주성엔지니어링이 6일 정전척의 냉각베이스 특허권을 취득했다고 공시했다. 이는 "열 부하를 효과적으로 제어할 수 있는 정전척의 냉각 베이스에 관한 특허"라고 회사 측은 설명했다.

강미현 기자 grobe@
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