Æ÷·³´º½º
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ, Àü »ç¾÷ºÎ¹® ¼ºÀ嵿·Â È®º¸ <¿ì¸®ñû>
ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2011.02.21 07:46 ±â»çÀÔ·Â2011.02.21 07:46
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ]¿ì¸®ÅõÀÚÁõ±ÇÀº ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ¿¡ ´ëÇØ Àü »ç¾÷ ºÎ¹®ÀÇ Â÷¼¼´ë ¼ºÀå µ¿·Â È®º¸°¡ ÀλóÀûÀ̶ó¸ç ÅõÀÚÀÇ°ß ¸Å¼ö ¹× ¸ñÇ¥ÁÖ°¡ 2¸¸8000¿øÀ» À¯ÁöÇß´Ù.
21ÀÏ º¯ÇÑÁØ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "¿ÃÇصµ ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ¼Ö¶ó °¢ ºÎ¹®º°·Î ¿ÜÇüÀû ¼ºÀåÀÌ °¡´ÉÇÒ Àü¸ÁÀÌ°í, ¿ì·ÁÇß´ø ž籤 »ç¾÷ºÎ¹®ÀÇ ¼öÀͼºÀÌ ²ÙÁØÇÑ °³¼± Ãß¼¼¿¡ ÀÖ´Ù"¸ç "OLED ¹× LED »ê¾÷ °ü·Ã ÀåºñÀÇ ½Å±Ô ¼öÁÖ°¡ ±â´ëµÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿ì¸®ÅõÀÚÁõ±ÇÀº ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀÇ ¿ÃÇØ ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾× 5763¾ï¿ø(Àü³âµ¿±â 36.1%), ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 655¾ï¿ø(34.0%)À» Àü¸ÁÇß´Ù.
°¢ »ç¾÷ ºÎ¹®¿¡¼ÀÇ ¾÷°è ÃÖ°í ±â¼ú·ÂÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â ºÎ¹®º° ½Å±Ô Àåºñ °³¹ßÀ» ÅëÇÑ ½Å¼ºÀå µ¿·Â È®º¸¸¦ °¡½ÃÈ ÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ ºÎ¹®¿¡¼´Â ±âÁ¸ÀÇ Ä³½ÃÄ«¿ìÀÎ ALD Àåºñ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÇ °øÁ¤¹Ì¼¼È¿Í °ü·ÃÇØ ¼öÇýÆøÀÌ È®´ë ÁßÀ̶ó°í Áø´ÜÇß´Ù.
Dry Etcher, UHV CVD (ºñ¸Þ¸ð¸® °øÁ¤ Ÿ°Ù), ULT Àåºñ µî ½Å±Ô ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ °³¹ßÀÌ ¿Ï·áµÅ °¡Æĸ¥ ¸ÅÃâ Áõ°¡°¡ ±â´ëµÈ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
Á¦Ç°ÀÇ ´Ùº¯È »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, °í°´´Ùº¯È(ÇØ¿Ü ºñ¸Þ¸ð¸® ¾÷ü Æ÷ÇÔ)¸¦ ÅëÇÑ ¼ºÀå µ¿·ÂÀ» È®º¸ ÁßÀ¸·Î MOCVDÀÇ ¼öÁÖ ¸ð¸àÅÒÀº ¿Ã ÇϹݱ⿡ º»°ÝÈ µÉ °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù.
µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ç¾÷ ºÎ¹®µµ ÁÖ¿ä °í°´ÀÎ LGDÀÇ ´ë±Ô¸ð LCDÇâ ¼³ºñ ÅõÀÚ°¡ ¸ÓÁö ¾ÊÀº °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ®, PECVD ¼öÁÖ°¡ ÀçÂ÷ È°¹ßÇØÁú ¼ö ÀÖ´Â »óȲÀ̶ó°í Áø´ÜÇß´Ù
¾Æ¿ï·¯ OLED¿ë Encapsulation(ºÀÁö °øÁ¤) Àåºñ°¡ °³¹ßµÅ ÀϺδ ÀÌ¹Ì ³³Ç°ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁø »óȲÀ̶ó¸ç ÇâÈÄ °í°´»çÀÇ ÅõÀÚ ¿©ºÎ¿¡ µû¶ó OLED ¿ë ºÀÁö Àåºñ ¸ÅÃâµµ °¡Æĸ¥ ¼ºÀåµµ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜÇß´Ù.
žçÀüÁö »ç¾÷ ºÎ¹®ÀÇ °æ¿ì ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ±¤º¯È¯È¿À² ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¹Ú¸·Çü žçÀüÁö ÅÏÅ° Àåºñ Á¦Á¶»ç·Î ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇßÀ¸¸ç ÃÖ±Ù¿¡´Â °áÁ¤Çü PECVD ¹× RIE Àåºñ µî °áÁ¤Çü Àåºñ ¸ÅÃ⠱Ը𰡠Áõ°¡ Ãß¼¼¿¡ ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿ÃÇصµ °áÁ¤Çü Àåºñ ºñÁßÀÌ ´õ¿í È®´ëµÅ ½Å¼ºÀ嵿·ÂÀ¸·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.
ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ cho77love@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
21ÀÏ º¯ÇÑÁØ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "¿ÃÇصµ ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ¼Ö¶ó °¢ ºÎ¹®º°·Î ¿ÜÇüÀû ¼ºÀåÀÌ °¡´ÉÇÒ Àü¸ÁÀÌ°í, ¿ì·ÁÇß´ø ž籤 »ç¾÷ºÎ¹®ÀÇ ¼öÀͼºÀÌ ²ÙÁØÇÑ °³¼± Ãß¼¼¿¡ ÀÖ´Ù"¸ç "OLED ¹× LED »ê¾÷ °ü·Ã ÀåºñÀÇ ½Å±Ô ¼öÁÖ°¡ ±â´ëµÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿ì¸®ÅõÀÚÁõ±ÇÀº ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀÇ ¿ÃÇØ ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾× 5763¾ï¿ø(Àü³âµ¿±â 36.1%), ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 655¾ï¿ø(34.0%)À» Àü¸ÁÇß´Ù.
°¢ »ç¾÷ ºÎ¹®¿¡¼ÀÇ ¾÷°è ÃÖ°í ±â¼ú·ÂÀ» È®º¸ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â ºÎ¹®º° ½Å±Ô Àåºñ °³¹ßÀ» ÅëÇÑ ½Å¼ºÀå µ¿·Â È®º¸¸¦ °¡½ÃÈ ÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ ºÎ¹®¿¡¼´Â ±âÁ¸ÀÇ Ä³½ÃÄ«¿ìÀÎ ALD Àåºñ°¡ ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÇ °øÁ¤¹Ì¼¼È¿Í °ü·ÃÇØ ¼öÇýÆøÀÌ È®´ë ÁßÀ̶ó°í Áø´ÜÇß´Ù.
Dry Etcher, UHV CVD (ºñ¸Þ¸ð¸® °øÁ¤ Ÿ°Ù), ULT Àåºñ µî ½Å±Ô ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ °³¹ßÀÌ ¿Ï·áµÅ °¡Æĸ¥ ¸ÅÃâ Áõ°¡°¡ ±â´ëµÈ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
Á¦Ç°ÀÇ ´Ùº¯È »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, °í°´´Ùº¯È(ÇØ¿Ü ºñ¸Þ¸ð¸® ¾÷ü Æ÷ÇÔ)¸¦ ÅëÇÑ ¼ºÀå µ¿·ÂÀ» È®º¸ ÁßÀ¸·Î MOCVDÀÇ ¼öÁÖ ¸ð¸àÅÒÀº ¿Ã ÇϹݱ⿡ º»°ÝÈ µÉ °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù.
µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ç¾÷ ºÎ¹®µµ ÁÖ¿ä °í°´ÀÎ LGDÀÇ ´ë±Ô¸ð LCDÇâ ¼³ºñ ÅõÀÚ°¡ ¸ÓÁö ¾ÊÀº °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ®, PECVD ¼öÁÖ°¡ ÀçÂ÷ È°¹ßÇØÁú ¼ö ÀÖ´Â »óȲÀ̶ó°í Áø´ÜÇß´Ù
¾Æ¿ï·¯ OLED¿ë Encapsulation(ºÀÁö °øÁ¤) Àåºñ°¡ °³¹ßµÅ ÀϺδ ÀÌ¹Ì ³³Ç°ÀÌ ÀÌ·ç¾îÁø »óȲÀ̶ó¸ç ÇâÈÄ °í°´»çÀÇ ÅõÀÚ ¿©ºÎ¿¡ µû¶ó OLED ¿ë ºÀÁö Àåºñ ¸ÅÃâµµ °¡Æĸ¥ ¼ºÀåµµ °¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜÇß´Ù.
žçÀüÁö »ç¾÷ ºÎ¹®ÀÇ °æ¿ì ¼¼°è ÃÖ°íÀÇ ±¤º¯È¯È¿À² ±â¼ú·ÂÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¹Ú¸·Çü žçÀüÁö ÅÏÅ° Àåºñ Á¦Á¶»ç·Î ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇßÀ¸¸ç ÃÖ±Ù¿¡´Â °áÁ¤Çü PECVD ¹× RIE Àåºñ µî °áÁ¤Çü Àåºñ ¸ÅÃ⠱Ը𰡠Áõ°¡ Ãß¼¼¿¡ ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
¿ÃÇصµ °áÁ¤Çü Àåºñ ºñÁßÀÌ ´õ¿í È®´ëµÅ ½Å¼ºÀ嵿·ÂÀ¸·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.
ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ cho77love@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>