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[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ Á¤Àç¿ì ±âÀÚ] IBKÅõÀÚÁõ±ÇÀº 21ÀÏ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ ¼¼°èÀûÀÎ °æÀï·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ Æ¯¼ö °¡½º Àü¹® ¾÷ü·Î »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3) Áõ¼³ÀÌ ±×´ë·Î ¸ÅÃâ Áõ°¡·Î ¿¬°áµÈ´Ù´Â ºÐ¼®À» ³»³ù´Ù. ÅõÀÚÀÇ°ß°ú ¸ñÇ¥ÁÖ°¡´Â Á¦½ÃÇÏÁö ¾Ê¾Ò´Ù.
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OCI¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ »ý»ê´É·ÂÀº Áö³ÇØ ¸» ±âÁØ 4500t ±Ô¸ð´Ù. NF3 ¸ÅÃâó´Â »ï¼ºÀüÀÚ, LGµð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¾÷ü ºñÁßÀÌ 65%, ±âŸ ÇØ¿Ü ¾÷ü µîÀÌ 35%¸¦ Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹Ú ¿¬±¸¿øÀº "¼¼°èÀûÀ¸·Î NF3´Â ŸÀÌÆ®ÇÑ ¼ö±Þ »óȲÀÌ Áö¼ÓµÇ°í ÀÖ´Ù"¸é¼ "NF3 ½ÃÀåÀº 2013³â±îÁö ¿¬°£ 20%´ë ¼ºÀå¼¼°¡ Áö¼ÓµÉ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
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OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â NF3, ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WF6) µî Ư¼ö°¡½º »ý»ê Àü¹®¾÷ü´Ù. Á¦Ç° Áß¿¡¼´Â NF3°¡ °¡Àå Å« ºñÁßÀ» Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, À̾î SiH4¿Í WF6 ¹× ±âŸ ºÎ»ê¹° ¸ÅÃâ µîÀÌ ÀϾ°í ÀÖÁö¸¸ WF6¿Í ±âŸ ºÎ»ê¹° ¸ÅÃ⠱ݾ×Àº ¹Ì¹ÌÇÑ ¼öÁØÀÌ´Ù.
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