Æ÷·³´º½º
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ]µ¿ºÎÁõ±ÇÀº 30ÀÏ Æ¯¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ ¸ñÇ¥ÁÖ°¡ 17¸¸5000¿ø, ÅõÀÚÀÇ°ß ¸Å¼ö·Î Ä¿¹ö¸®Áö¸¦ °³½ÃÇß´Ù.
°Á¤È£ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "Çö ÁÖ°¡´ëºñ 36%ÀÇ »ó½Â¿©·ÂÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù"¸ç "°ø°ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ¸·Î NF3 µ¶½Ä Àü¸Á, ž籤 À̽´ ºÎ°¢µÇ¸ç SiH4 ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀå °¡´É¼º, ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Àü¹æ»ê¾÷ ȣȲ½Ã Å« ÆøÀÇ ½ÇÀû ¼ºÀå ±â´ë µîÀÌ ÅõÀÚÆ÷ÀÎÆ®"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº °æÀï»çµéÀÌ ¼³ºñ ÅõÀÚ È®Àå¿¡ ¸Ó¹µ°Å¸®´Â µ¿¾È OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñ È®ÀåÀ» Áö¼ÓÇϸç NF3 ÆÇ°¡ ÀÎÇϸ¦ ÁÖµµÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. È¿À²ÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ¿Í ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦¸¦ ½ÇÇöÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ÆÇ°¡ Ç϶ô¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» À¯ÁöÇÏ¸é¼ NF3½ÃÀåÀÇ Áö¹è·ÂÀ» °ÈÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
±¹³» ´ë±â¾÷ÀÇ LCD ¹× OLED ÅõÀÚ¿¡ µû¸¥ NF3 ¼ö¿ä È®´ëÀÇ È£±â(û¿Ñ¦)¸¦ ¸Â¾Æ ¿ÃÇØÀü³â ´ëºñ 38% ¼ºÀåÇÏ¸ç ½ÂÀÚµ¶½ÄÀÌ ±â´ëµÈ´Ù°í Àü¸ÁÇß´Ù.
¶ÇÇÑ ÀϺ»ÀÇ ¿øÀÚ·Â ¹ßÀü¼Ò ÇÇÇØ¿¡ µû¸¥ ´ëü ¹ßÀü¿øÀ¸·Î¼ ž籤ÀÌ ´Ù½Ã±Ý ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ °áÁ¤Çü žçÀüÁöÀÌµç ¹Ú¸·Çü žçÀüÁöÀ̵ç OCI¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ ÀÔÀå¿¡¼´Â ¸ðµÎ ½ÇÀû ¼ºÀåÀ¸·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Â »ç¾÷±¸Á¶¶ó°í Áø´ÜÇß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ž籤 ¹ßÀü¿¡ ´ëÇÑ °ü½É °íÁ¶´Â SiH4 ¹× NF3 ½ÇÀû ¼ºÀåÀ¸·Î À̾îÁú °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇß´Ù.
ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ cho77love@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
°Á¤È£ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "Çö ÁÖ°¡´ëºñ 36%ÀÇ »ó½Â¿©·ÂÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù"¸ç "°ø°ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ¸·Î NF3 µ¶½Ä Àü¸Á, ž籤 À̽´ ºÎ°¢µÇ¸ç SiH4 ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀå °¡´É¼º, ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Àü¹æ»ê¾÷ ȣȲ½Ã Å« ÆøÀÇ ½ÇÀû ¼ºÀå ±â´ë µîÀÌ ÅõÀÚÆ÷ÀÎÆ®"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº °æÀï»çµéÀÌ ¼³ºñ ÅõÀÚ È®Àå¿¡ ¸Ó¹µ°Å¸®´Â µ¿¾È OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñ È®ÀåÀ» Áö¼ÓÇϸç NF3 ÆÇ°¡ ÀÎÇϸ¦ ÁÖµµÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. È¿À²ÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ¿Í ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦¸¦ ½ÇÇöÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ÆÇ°¡ Ç϶ô¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» À¯ÁöÇÏ¸é¼ NF3½ÃÀåÀÇ Áö¹è·ÂÀ» °ÈÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
±¹³» ´ë±â¾÷ÀÇ LCD ¹× OLED ÅõÀÚ¿¡ µû¸¥ NF3 ¼ö¿ä È®´ëÀÇ È£±â(û¿Ñ¦)¸¦ ¸Â¾Æ ¿ÃÇØÀü³â ´ëºñ 38% ¼ºÀåÇÏ¸ç ½ÂÀÚµ¶½ÄÀÌ ±â´ëµÈ´Ù°í Àü¸ÁÇß´Ù.
¶ÇÇÑ ÀϺ»ÀÇ ¿øÀÚ·Â ¹ßÀü¼Ò ÇÇÇØ¿¡ µû¸¥ ´ëü ¹ßÀü¿øÀ¸·Î¼ ž籤ÀÌ ´Ù½Ã±Ý ºÎ°¢µÇ°í ÀÖ´Â °¡¿îµ¥ °áÁ¤Çü žçÀüÁöÀÌµç ¹Ú¸·Çü žçÀüÁöÀ̵ç OCI¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ ÀÔÀå¿¡¼´Â ¸ðµÎ ½ÇÀû ¼ºÀåÀ¸·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Â »ç¾÷±¸Á¶¶ó°í Áø´ÜÇß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ž籤 ¹ßÀü¿¡ ´ëÇÑ °ü½É °íÁ¶´Â SiH4 ¹× NF3 ½ÇÀû ¼ºÀåÀ¸·Î À̾îÁú °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇß´Ù.
ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ cho77love@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>