Æ÷·³´º½º
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ]Ư¼ö°¡½º Á¦Á¶¾÷üÀÎ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ 30ÀÏ »ó½Â¼¼´Ù.
À̳¯ ¿ÀÀü 9½Ã25ºÐ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÀüÀÏ´ëºñ 6.07% ±ÞµîÇÑ 13¸¸6300¿øÀ» ±â·ÏÁßÀÌ´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº À̳¯ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ Çö ÁÖ°¡´ëºñ 36%ÀÇ »ó½Â¿©·ÂÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
°Á¤È£ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "°ø°ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ¸·Î NF3 µ¶½Ä Àü¸Á, ž籤 À̽´ ºÎ°¢µÇ¸ç SiH4 ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀå °¡´É¼º, ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Àü¹æ»ê¾÷ ȣȲ½Ã Å« ÆøÀÇ ½ÇÀû ¼ºÀå ±â´ë µîÀÌ ÅõÀÚÆ÷ÀÎÆ®"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº °æÀï»çµéÀÌ ¼³ºñ ÅõÀÚ È®Àå¿¡ ¸Ó¹µ°Å¸®´Â µ¿¾È OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñ È®ÀåÀ» Áö¼ÓÇϸç NF3 ÆÇ°¡ ÀÎÇϸ¦ ÁÖµµÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. È¿À²ÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ¿Í ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦¸¦ ½ÇÇöÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ÆÇ°¡ Ç϶ô¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» À¯ÁöÇÏ¸é¼ NF3½ÃÀåÀÇ Áö¹è·ÂÀ» °ÈÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ cho77love@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
À̳¯ ¿ÀÀü 9½Ã25ºÐ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ÀüÀÏ´ëºñ 6.07% ±ÞµîÇÑ 13¸¸6300¿øÀ» ±â·ÏÁßÀÌ´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº À̳¯ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ Çö ÁÖ°¡´ëºñ 36%ÀÇ »ó½Â¿©·ÂÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.
°Á¤È£ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "°ø°ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ¸·Î NF3 µ¶½Ä Àü¸Á, ž籤 À̽´ ºÎ°¢µÇ¸ç SiH4 ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀå °¡´É¼º, ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Àü¹æ»ê¾÷ ȣȲ½Ã Å« ÆøÀÇ ½ÇÀû ¼ºÀå ±â´ë µîÀÌ ÅõÀÚÆ÷ÀÎÆ®"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº °æÀï»çµéÀÌ ¼³ºñ ÅõÀÚ È®Àå¿¡ ¸Ó¹µ°Å¸®´Â µ¿¾È OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñ È®ÀåÀ» Áö¼ÓÇϸç NF3 ÆÇ°¡ ÀÎÇϸ¦ ÁÖµµÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. È¿À²ÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ¿Í ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦¸¦ ½ÇÇöÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ÆÇ°¡ Ç϶ô¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» À¯ÁöÇÏ¸é¼ NF3½ÃÀåÀÇ Áö¹è·ÂÀ» °ÈÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ cho77love@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>