Æ÷·³´º½º
[Ư¡ÁÖ]OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî, ½ÃÀåÁö¹è·Â °È Å« Æø ¼ºÀå ±â´ë..¡è
ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2011.03.31 09:05 ±â»çÀÔ·Â2011.03.31 09:05
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÀÓö¿µ ±âÀÚ]OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî°¡ ½ÃÀåÁö¹è·Â °È Àü¸Á¿¡ 3°Å·¡ÀÏ° »ó½Â¼¼´Ù.
31ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã2ºÐ ÇöÀç OCI¸Óµð¸®¾óÁî´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 1900¿ø(1.41%) ¿À¸¥ 13¸¸6500¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù. NHÅõÀÚÁõ±Ç, Çö´ëÁõ±Ç, ¹Ì·¡¿¡¼ÂÁõ±Ç µîÀÌ ¸Å¼ö°Å·¡¿ø »óÀ§¿¡ ¿Ã¶óÀÖ´Ù.
°Á¤È£ µ¿ºÎÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "Çö ÁÖ°¡´ëºñ 36%ÀÇ »ó½Â¿©·ÂÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù"¸ç "°ø°ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ¸·Î NF3 µ¶½Ä Àü¸Á, ž籤 À̽´ ºÎ°¢µÇ¸ç SiH4 ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀå °¡´É¼º, ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Àü¹æ»ê¾÷ ȣȲ½Ã Å« ÆøÀÇ ½ÇÀû ¼ºÀå ±â´ë µîÀÌ ÅõÀÚÆ÷ÀÎÆ®"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº °æÀï»çµéÀÌ ¼³ºñ ÅõÀÚ È®Àå¿¡ ¸Ó¹µ°Å¸®´Â µ¿¾È OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñ È®ÀåÀ» Áö¼ÓÇϸç NF3 ÆÇ°¡ ÀÎÇϸ¦ ÁÖµµÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. È¿À²ÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ¿Í ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦¸¦ ½ÇÇöÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ÆÇ°¡ Ç϶ô¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» À¯ÁöÇÏ¸é¼ NF3½ÃÀåÀÇ Áö¹è·ÂÀ» °ÈÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
ÀÓö¿µ ±âÀÚ cylim@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
31ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã2ºÐ ÇöÀç OCI¸Óµð¸®¾óÁî´Â Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 1900¿ø(1.41%) ¿À¸¥ 13¸¸6500¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù. NHÅõÀÚÁõ±Ç, Çö´ëÁõ±Ç, ¹Ì·¡¿¡¼ÂÁõ±Ç µîÀÌ ¸Å¼ö°Å·¡¿ø »óÀ§¿¡ ¿Ã¶óÀÖ´Ù.
°Á¤È£ µ¿ºÎÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "Çö ÁÖ°¡´ëºñ 36%ÀÇ »ó½Â¿©·ÂÀÌ Á¸ÀçÇÑ´Ù"¸ç "°ø°ÝÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇÑ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ¸·Î NF3 µ¶½Ä Àü¸Á, ž籤 À̽´ ºÎ°¢µÇ¸ç SiH4 ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¸ÅÃâ ¼ºÀå °¡´É¼º, ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Àü¹æ»ê¾÷ ȣȲ½Ã Å« ÆøÀÇ ½ÇÀû ¼ºÀå ±â´ë µîÀÌ ÅõÀÚÆ÷ÀÎÆ®"¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.
µ¿ºÎÁõ±ÇÀº °æÀï»çµéÀÌ ¼³ºñ ÅõÀÚ È®Àå¿¡ ¸Ó¹µ°Å¸®´Â µ¿¾È OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â °ø°ÝÀûÀÎ ¼³ºñ È®ÀåÀ» Áö¼ÓÇϸç NF3 ÆÇ°¡ ÀÎÇϸ¦ ÁÖµµÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù. È¿À²ÀûÀÎ ¼³ºñÅõÀÚ¿Í ±Ô¸ðÀÇ °æÁ¦¸¦ ½ÇÇöÇϸç Áö¼ÓÀûÀÎ ÆÇ°¡ Ç϶ô¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í ³ôÀº ÀÌÀÍ·üÀ» À¯ÁöÇÏ¸é¼ NF3½ÃÀåÀÇ Áö¹è·ÂÀ» °ÈÇß´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ´Ù.
ÀÓö¿µ ±âÀÚ cylim@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>