[아시아경제 천우진 기자]다원시스는 삼성전자 탕정 T7·T8 라인 LCD 공장에 EUV 대체용으로 설치될 대기압 플라즈마 세정장비를 42억원 규모에 공급계약을 체결하였다고 지난 31일 공시했다. 이번 계약의 공급기간은 오늘 5월말까지다.

다원시스 관계자는 "지난 21일 임시주주총회를 통해 최종 승인된 반도체 LCD 플라즈마 세정장치 사업의 영업양수와 발맞춰 수주한 첫 성과"라며 "기존 LCD 플라즈마세정장비의 핵심부품인 전원장치 공급에서 더 나아가 LCD 장비사업에 본격적으로 진출한 것"이라고 평가했다.

다원시스는 이번 계약을 바탕으로 국내 반도체 LCD 장비시장에 대한 점유율을 확대하고 중국 및 대만 등 해외시장점유율도 늘릴 계획이다.

또한 다원시스는 "인공태양이라 불리는 KSTAR 프로젝트와 ITER(국제핵융합실험로) 사업에도 참여할 예정"이라고 밝혔다. 태양광 발전 기초소재인 폴리실리콘 생산용 전원장치 태양광 CVD전원장치도 현재 공급 중이다. 다원시스는 그 밖에도 화학 플랜트용 전원장치, 지하철 추진제어 인버터, 전자유도가열장비 등을 제조·공급하고 있다.

천우진 기자 endorphin00@
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