Æ÷·³´º½º

OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî, NF3 »ç¾÷ È£Á¶..¸ñÇ¥°¡¡è<Çѱ¹ÅõÀÚñû>

ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2011.04.22 07:47 ±â»çÀÔ·Â2011.04.22 07:47
±Û¾¾Å©°Ô ±Û¾¾ÀÛ°Ô ÀμâÇϱâ
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ õ¿ìÁø ±âÀÚ]Çѱ¹ÅõÀÚÁõ±ÇÀº 22ÀÏ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3) ÆǸŰ¡ ºñ¼öÀÓ¿¡µµ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù¸ç ¸ñÇ¥ÁÖ°¡¸¦ ±âÁ¸ 14¸¸6000¿ø¿¡¼­ 16¸¸7000¿øÀ¸·Î »óÇâÁ¶Á¤Çß´Ù. ÅõÀÚÀÇ°ßÀº '¸Å¼ö'¸¦ À¯ÁöÇß´Ù.

À¯Á¾¿ì ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "ÀϺ»ÁöÁø ÈÄ °í°´»çµéÀÇ Àç°í¼ö¿ä ºñÃà µîÀ¸·Î ¼ö¿ä°¡ Áõ°¡ÇØ ºñ¼ö±âÀÓ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í Áö³­ 4ºÐ±â ´ëºñ NF3 ÃâÇÏ·®ÀÌ Áõ°¡Çß´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.

ÀÌ·ÎÀÎÇØ 1ºÐ±â ¸ÅÃâ¾× ¹× ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº ¼º¼ö±âÀÎ Áö³­ÇØ 4ºÐ±â ´ëºñ °¢°¢ 15.9%, 23.4% Áõ°¡ÇÑ 718¾ï¿ø, 241¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇß´Ù. À¯ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "À̹ø 1ºÐ±â ½ÇÀûÀº ´çÃÊ ÃßÁ¤Ä¡¸¦ °¢°¢ 14%, 20% ¿ôµµ´Â ¼öÁØ"À̶ó°í Æò°¡Çß´Ù.

NF3 ÆǸŴ 2ºÐ±â ÀÌÈÄ ¼ö¿ä»ê¾÷ÀÎ LCD»ê¾÷ÀÇ È¸º¹°ú ´õºÒ¾î Áö¼ÓµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. Çѱ¹ÅõÀÚÁõ±ÇÀº ¿ÃÇØ NF3 ¸ÅÃâ¾× ÃßÁ¤Ä¡¸¦ ´çÃʺ¸´Ù 14% Áõ°¡ÇÑ 2278¾ï¿øÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.

´Ù¸¸ ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4) °¡°ÝÀº ¹Ú¸·Çü žçÀüÁö »ê¾÷ÀÇ È¸º¹ÀÌ Áö¿¬µÅ °¡°ÝÇ϶ôÀ» Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖÁö¸¸ ¹°·®Àº Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ¾î ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·ü »ó½Â¿¡´Â ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´ÜÇß´Ù.

À̾î À¯ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "¿ÃÇØ¿ª½Ã NF3 »ý»ê´É·Â°ú ¸ÅÃâ¾×ÀÌ Áö³­Çغ¸´Ù °¢°¢ 44%, 54%¾¿ Áõ°¡ÇÒ Àü¸ÁÀ̾ ½ÇÀû °³¼±À¸·Î ÀÎÇÑ Ãß°¡ »ó½Âµµ °¡´ÉÇÒ °Í"À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

õ¿ìÁø ±âÀÚ endorphin00@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
¸ñ·Ï