Æ÷·³´º½º

ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ, Ú¸¡¤ÝÖ Å¾çÀüÁö Àåºñ½ÃÀå È®´ë

ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2011.05.04 10:19 ±â»çÀÔ·Â2011.05.04 10:19
±Û¾¾Å©°Ô ±Û¾¾ÀÛ°Ô ÀμâÇϱâ
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÃÖ´ë¿­ ±âÀÚ]žçÀüÁö ¹× ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àåºñ¾÷ü ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀÌ ¹Ì±¹°ú ÇÁ¶û½º¿¡¼­ žçÀüÁö °ü·ÃÀåºñ ½Å±Ô °ø±Þ°è¾àÀ» ¸Î¾ú´Ù. ±×°£ Áß±¹½ÃÀå ºñÁßÀÌ ³ô¾Ò´ø ȸ»ç´Â À̹ø °è¾àÀ» °è±â·Î Àü ¼¼°è °¢Áö·Î ¿µÇâ·ÂÀ» ³ôÀδٴ °èȹÀÌ´Ù.

4ÀÏ È¸»çÃøÀº ¹Ì±¹ žçÀüÁö »ý»ê¾÷ü¿¡ Àåºñ Ãʵµ °ø±Þ°è¾àÀ» ¸Î¾ú´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ ¾÷ü´Â ÁÖ¼ºÀÇ °áÁ¤Çü žçÀüÁö¿ë ¾ç»êÀåºñÀÎ ÇöóÁȭÇÐÁõÂø±â(PECVD)°¡ °®´Â ¿ø°¡°æÀï·Â°ú °íÈ¿À² ±â¼úÀ» ¼³ºñÅõÀÚ¿¡ Àû¿ëÅ°·Î Çß´Ù. °è¾àÁ¶Ç׿¡ µû¶ó ±¸Ã¼ÀûÀÎ »ç¸í°ú ±Ô¸ð´Â °ø°³µÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.

ȸ»ç´Â ¶Ç ÇÁ¶û½º ¿øÀÚ·ÂÀ§¿øȸ(CEA)¿Í ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ °íÈ¿À² °áÁ¤Áú ¼Ö¶ó¼¿Àåºñ °ø±Þ°è¾àÀ» ¸Î¾ú´Ù. °ü·Ã ¾ç»ê±â¼úÀº CEA Çù·Â»ç¿¡ ÀüÆĵŠÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀÇ ±â¼ú·Â°ú ¿µÇâ·ÂÀÌ ´õ ´Ã¾î³¯ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "À̹ø °ø±Þ°è¾àÀº Áß±¹Áö¿ª ¸ÅÃâÀÌ ³ô¾Ò´ø žçÀüÁö Àåºñ°¡ ¹ÌÁÖ¿Í À¯·´ Áö¿ªÀ¸·Î Á¡Â÷ ´Ã¾î³ª°í ÀÖÀ½À» º¸¿©ÁØ´Ù"¸ç "žçÀüÁö ½ÃÀå±Ô¸ð°¡ Å« ¹Ì±¹¿¡¼­ ½Å±Ô °í°´À» È®º¸Çß´Ù´Â Á¡¿¡¼­ ¼º°øÀûÀÎ °í°´ ´Ùº¯È­"¶ó°í ¸»Çß´Ù.

ÃÖ´ë¿­ ±âÀÚ dychoi@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
¸ñ·Ï