[아시아경제 이민아 기자]테스는 가스분사장치 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

회사는 "이번 특허는 박막의 증착균일도를 보장하고, 가스분사플레이트와 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다는 장점이 있다"고 설명했다.


이민아 기자 malee@
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