Æ÷·³´º½º
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¼ÛÈÁ¤ ±âÀÚ]4ºÐ±â ½ÇÀû ½ÃÁðÀÌ ´Ù°¡¿À¸é¼ 4ºÐ±â ½ÇÀû¿¡ ´ëÇÑ °ü½ÉÀÌ Ä¿Áö°í ÀÖ´Ù. 4ºÐ±â È£½ÇÀûÀÌ ¿¹»óµÇ´Â Á¾¸ñÀº ÀÌ¹Ì ÁÖ°¡¿¡ ±â´ë°¨ÀÌ ¹Ý¿µµÇ´Â ¸ð½ÀÀÌ´Ù. ±×·¯³ª ÀϺο¡¼´Â 4ºÐ±â ½ÇÀû¿¡ ´ëÇÑ ±â´ëÄ¡¸¦ ³·Ãâ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù´Â ÀÇ°ßµµ ³ª¿À°í ÀÖ´Ù.
27ÀÏ ºÎ½ºÅ¸´Â °¡°ÝÁ¦ÇÑÆø±îÁö »ó½ÂÇÏ¸ç °Å·¡¸¦ ¸¶ÃÆ´Ù. 4ºÐ±â ½ÇÀû ±â´ë°¨ÀÌ ÁÖ°¡¸¦ »óÇÑ°¡±îÁö ²ø¾î¿Ã·È´Ù. À̳¯ HMCÅõÀÚÁõ±ÇÀº ºÎ½ºÅ¸ÀÇ 4ºÐ±â ¸ÅÃâÀÌ È£ÀüµÇ°í ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üµµ ´ëÆø °³¼±µÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. ¹Ú½Ã¿µ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "ºÎ½ºÅ¸ÀÇ ¸ÅÃâÀº 4ºÐ±â¿¡ °èÀýÀûÀÎ ¼º¼ö±â ¿µÇâ°ú 3ºÐ±â ¸ÅÃâÀÌ ÀϺΠÀÌ¿ùµÇ¸é¼ È£ÀüµÉ °Í"À̶ó¸ç "¼öÀͼº Ãø¸é¿¡¼´Â 3ºÐ±âºÎÅÍ ÆÇ°¡ ÀλóÀÌ ¹Ý¿µµÇ°í ÀÖ°í 4ºÐ±â¿¡ »ó´ëÀûÀ¸·Î ¼öÀͼºÀÌ ÁÁÀº ¿ë¿ª ¸ÅÃâ ºñÁßÀÌ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸¿© ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀÌ ´ëÆø °³¼±µÉ °Í"À̶ó°í ÆÇ´ÜÇß´Ù.
STS¹ÝµµÃ¼µµ 4ºÐ±â È£½ÇÀûÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù. ³½µå Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ÆÐŰ¡ ¹°·® Áõ°¡¼¼ Áö¼Ó°ú ºñ¸Þ¸ð¸®¿ë ÆÐŰ¡ °ø±Þ Áõ°¡, »ï¼ºÀüÀÚ ¿ÜÁÖ È®´ë¿¡ µû¸¥ D·¥ ÆÐŰ¡ ¹°·® È£Á¶ µîÀ¸·Î ½ÃÀåÀÇ ¿¹»óÄ¡¸¦ ÃæºÐÈ÷ ¸¸Á·½Ãų °ÍÀ̶õ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ÀÌÁ¤ À¯ÁøÅõÀÚÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "STS¹ÝµµÃ¼´Â ¿ÃÇØ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÐŰ¡ ¿ÜÁÖ¹°·® È®´ë·Î ½ÇÀûÀÌ ºü¸£°Ô °³¼±µÇ°í ÀÖÀ» »Ó ¾Æ´Ï¶ó ³½µå Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ÆÐŰ¡ »ý»ê´É·Â Áõ¼³ ¹× ÀÌ¿¡ µû¸¥ ¹°·® Áõ´ë·Î Áö³ 3ºÐ±âºÎÅÍ ½ÇÀû È£Á¶¼¼°¡ °¡Æĸ£°Ô ³ªÅ¸³ª°í ÀÖ´Ù"¸é¼ "¶ÇÇÑ ÇϹݱ⠵é¾î Çʸ®ÇɹýÀÎÀÌ º»°ÝÀûÀ¸·Î °¡µ¿µÇ¸é¼ ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ½ÇÀû ¼ºÀåÀ» °ßÀÎÇÒ °Í"À̶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©µµ 4ºÐ±â ¼ÇÁ¶óÀÌÁî ¼öÁØÀÇ ½ÇÀûÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù. 4ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×Àº Àü³â µ¿±â ´ëºñ 108.3% Áõ°¡ÇÑ 383¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 61.7% ´Ã¾î³ 84¾ï¿øÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ½ÇÀû Áõ°¡´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ÀüȯÀ¸·Î ½Ì±Û ŸÀÔ LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)ÀÇ ¼ö¿ä°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ´Ã¾î³ª°í Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¼ÛÁ¾È£ ´ë¿ìÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "À¯ÁøÅ×Å©´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÏÀ̴нº¿¡ ¸ðµÎ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Â º¸±â µå¹® ¾÷ü·Î ³»³â¿¡´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê´É·ÂÀÌ 15Á¶¿ø ¼öÁØÀ¸·Î ´ëÆø ´Ã¾î³ª´Â µ¥´Ù ÇÏÀ̴нº ¿ª½Ã ³»³â °øÁ¤Àüȯ°ú ½Å±Ô ¶óÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ½ÃÀÛÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ¾î¼ ÁÖ¿ä ¸Þ¸ð¸®¾÷üµéÀÇ ÅõÀÚ Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¼öÁÖ ¸ð¸àÅÒ°ú ½ÇÀû °³¼±ÀÌ Áö¼ÓµÉ °Í"À̶ó°í ³»´ÙºÃ´Ù.
±×·¯³ª Àü¹ÝÀûÀ¸·Î 4ºÐ±â ½ÇÀû¿¡ ±â´ë°¨À» ³·Ãâ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù´Â ÀÇ°ßµµ ³ª¿Â´Ù. ÀÌÀ縸 µ¿¾çÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "±¹³» »óÀå±â¾÷(µ¿¾çÁõ±Ç À¯´Ï¹ö½º 200Á¾¸ñ ±âÁØ)ÀÇ ¿ÃÇØ 4ºÐ±â ¼øÀÌÀÍ Àü¸ÁÄ¡°¡ ÃÖ±Ù °íÁ¡´ëºñ 5.8%³ª ÇÏÇâ Á¶Á¤µÈ 23Á¶1000¾ï¿øÀ¸·Î ¿¬Áß ÃÖÀú¼öÁØÀ» ±â·ÏÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸é¼ "Åë»ó 1ºÐ±â ÀÌÈÄ¿¡³ª Áõ°¡À²ÀÌ °³¼±µÈ´Ù´Â Á¡°ú ³»³â ¼øÀÌÀÍ ÃßÁ¤Ä¡°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³·¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù´Â Á¡ µîÀ» °í·ÁÇÒ ¶§ ³»³â 1ºÐ±â±îÁö ±¹³» Áõ½Ã¿¡¼ ÀÌÀÍ ¸ð¸àÅÒ °È¸¦ ±â´ëÇϱâ´Â ¾î·Á¿î »óȲ"À̶ó°í ÆÇ´ÜÇß´Ù.
°ûÇö¼ö IBKÅõÀÚÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "3ºÐ±â ȯ°ü·Ã Æò°¡¼Õ½ÇÀÇ »ó´ç ºÎºÐÀÌ È®Á¤ ¼Õ½ÇÀÌ µÉ °¡´É¼ºÀÌ ³ô°í À¯·´ ÀçÁ¤À§±â·Î ¼öÃâ ±â¾÷µéÀÇ ¸ÅÃâ ¹× ÀÌÀÍ °¨¼Ò µîÀ» °¨¾ÈÇÒ ¶§ 4ºÐ±â ÀÌÀÍ °³¼±¿¡ ´ëÇÑ ±â´ë°¨Àº ³·Ãâ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù"°í ÁöÀûÇß´Ù.
¼ÛÈÁ¤ ±âÀÚ yeekin77@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
27ÀÏ ºÎ½ºÅ¸´Â °¡°ÝÁ¦ÇÑÆø±îÁö »ó½ÂÇÏ¸ç °Å·¡¸¦ ¸¶ÃÆ´Ù. 4ºÐ±â ½ÇÀû ±â´ë°¨ÀÌ ÁÖ°¡¸¦ »óÇÑ°¡±îÁö ²ø¾î¿Ã·È´Ù. À̳¯ HMCÅõÀÚÁõ±ÇÀº ºÎ½ºÅ¸ÀÇ 4ºÐ±â ¸ÅÃâÀÌ È£ÀüµÇ°í ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üµµ ´ëÆø °³¼±µÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. ¹Ú½Ã¿µ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "ºÎ½ºÅ¸ÀÇ ¸ÅÃâÀº 4ºÐ±â¿¡ °èÀýÀûÀÎ ¼º¼ö±â ¿µÇâ°ú 3ºÐ±â ¸ÅÃâÀÌ ÀϺΠÀÌ¿ùµÇ¸é¼ È£ÀüµÉ °Í"À̶ó¸ç "¼öÀͼº Ãø¸é¿¡¼´Â 3ºÐ±âºÎÅÍ ÆÇ°¡ ÀλóÀÌ ¹Ý¿µµÇ°í ÀÖ°í 4ºÐ±â¿¡ »ó´ëÀûÀ¸·Î ¼öÀͼºÀÌ ÁÁÀº ¿ë¿ª ¸ÅÃâ ºñÁßÀÌ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î º¸¿© ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀÌ ´ëÆø °³¼±µÉ °Í"À̶ó°í ÆÇ´ÜÇß´Ù.
STS¹ÝµµÃ¼µµ 4ºÐ±â È£½ÇÀûÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù. ³½µå Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ÆÐŰ¡ ¹°·® Áõ°¡¼¼ Áö¼Ó°ú ºñ¸Þ¸ð¸®¿ë ÆÐŰ¡ °ø±Þ Áõ°¡, »ï¼ºÀüÀÚ ¿ÜÁÖ È®´ë¿¡ µû¸¥ D·¥ ÆÐŰ¡ ¹°·® È£Á¶ µîÀ¸·Î ½ÃÀåÀÇ ¿¹»óÄ¡¸¦ ÃæºÐÈ÷ ¸¸Á·½Ãų °ÍÀ̶õ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ÀÌÁ¤ À¯ÁøÅõÀÚÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "STS¹ÝµµÃ¼´Â ¿ÃÇØ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÆÐŰ¡ ¿ÜÁÖ¹°·® È®´ë·Î ½ÇÀûÀÌ ºü¸£°Ô °³¼±µÇ°í ÀÖÀ» »Ó ¾Æ´Ï¶ó ³½µå Ç÷¡½Ã ¸Þ¸ð¸® ÆÐŰ¡ »ý»ê´É·Â Áõ¼³ ¹× ÀÌ¿¡ µû¸¥ ¹°·® Áõ´ë·Î Áö³ 3ºÐ±âºÎÅÍ ½ÇÀû È£Á¶¼¼°¡ °¡Æĸ£°Ô ³ªÅ¸³ª°í ÀÖ´Ù"¸é¼ "¶ÇÇÑ ÇϹݱ⠵é¾î Çʸ®ÇɹýÀÎÀÌ º»°ÝÀûÀ¸·Î °¡µ¿µÇ¸é¼ ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ½ÇÀû ¼ºÀåÀ» °ßÀÎÇÒ °Í"À̶ó°í ºÐ¼®Çß´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©µµ 4ºÐ±â ¼ÇÁ¶óÀÌÁî ¼öÁØÀÇ ½ÇÀûÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù. 4ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×Àº Àü³â µ¿±â ´ëºñ 108.3% Áõ°¡ÇÑ 383¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 61.7% ´Ã¾î³ 84¾ï¿øÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ½ÇÀû Áõ°¡´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ÀüȯÀ¸·Î ½Ì±Û ŸÀÔ LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)ÀÇ ¼ö¿ä°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ´Ã¾î³ª°í Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¼ÛÁ¾È£ ´ë¿ìÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "À¯ÁøÅ×Å©´Â »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÏÀ̴нº¿¡ ¸ðµÎ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Â º¸±â µå¹® ¾÷ü·Î ³»³â¿¡´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê´É·ÂÀÌ 15Á¶¿ø ¼öÁØÀ¸·Î ´ëÆø ´Ã¾î³ª´Â µ¥´Ù ÇÏÀ̴нº ¿ª½Ã ³»³â °øÁ¤Àüȯ°ú ½Å±Ô ¶óÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ½ÃÀÛÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ¾î¼ ÁÖ¿ä ¸Þ¸ð¸®¾÷üµéÀÇ ÅõÀÚ Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¼öÁÖ ¸ð¸àÅÒ°ú ½ÇÀû °³¼±ÀÌ Áö¼ÓµÉ °Í"À̶ó°í ³»´ÙºÃ´Ù.
±×·¯³ª Àü¹ÝÀûÀ¸·Î 4ºÐ±â ½ÇÀû¿¡ ±â´ë°¨À» ³·Ãâ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù´Â ÀÇ°ßµµ ³ª¿Â´Ù. ÀÌÀ縸 µ¿¾çÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "±¹³» »óÀå±â¾÷(µ¿¾çÁõ±Ç À¯´Ï¹ö½º 200Á¾¸ñ ±âÁØ)ÀÇ ¿ÃÇØ 4ºÐ±â ¼øÀÌÀÍ Àü¸ÁÄ¡°¡ ÃÖ±Ù °íÁ¡´ëºñ 5.8%³ª ÇÏÇâ Á¶Á¤µÈ 23Á¶1000¾ï¿øÀ¸·Î ¿¬Áß ÃÖÀú¼öÁØÀ» ±â·ÏÇÏ°í ÀÖ´Ù"¸é¼ "Åë»ó 1ºÐ±â ÀÌÈÄ¿¡³ª Áõ°¡À²ÀÌ °³¼±µÈ´Ù´Â Á¡°ú ³»³â ¼øÀÌÀÍ ÃßÁ¤Ä¡°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³·¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù´Â Á¡ µîÀ» °í·ÁÇÒ ¶§ ³»³â 1ºÐ±â±îÁö ±¹³» Áõ½Ã¿¡¼ ÀÌÀÍ ¸ð¸àÅÒ °È¸¦ ±â´ëÇϱâ´Â ¾î·Á¿î »óȲ"À̶ó°í ÆÇ´ÜÇß´Ù.
°ûÇö¼ö IBKÅõÀÚÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "3ºÐ±â ȯ°ü·Ã Æò°¡¼Õ½ÇÀÇ »ó´ç ºÎºÐÀÌ È®Á¤ ¼Õ½ÇÀÌ µÉ °¡´É¼ºÀÌ ³ô°í À¯·´ ÀçÁ¤À§±â·Î ¼öÃâ ±â¾÷µéÀÇ ¸ÅÃâ ¹× ÀÌÀÍ °¨¼Ò µîÀ» °¨¾ÈÇÒ ¶§ 4ºÐ±â ÀÌÀÍ °³¼±¿¡ ´ëÇÑ ±â´ë°¨Àº ³·Ãâ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù"°í ÁöÀûÇß´Ù.
¼ÛÈÁ¤ ±âÀÚ yeekin77@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>