Æ÷·³´º½º
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¼ÛÈÁ¤ ±âÀÚ]»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 4ºÐ±â ÃÖ´ë ½ÇÀûÀ» °ÅµÐ °¡¿îµ¥ »ï¼ºÀüÀÚ °ü·Ã ¼öÇýÁֵ鵵 µ¢´Þ¾Æ ÁÖ¸ñÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 6ÀÏ Áö³ÇØ 4ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ 5Á¶2000¾ï¿øÀ¸·Î ºÐ±â ±âÁØ »ç»ó ÃÖ´ë½ÇÀûÀ» °Åµ×´Ù°í ¹ßÇ¥Çѵ¥´Ù ¿ÃÇØ ÅõÀÚÈ®´ë¸¦ °ø½ÄÈÇÏ¸é¼ Çù·Â»ç µî »ï¼ºÀüÀÚ¿Í Á÷°£Á¢ÀûÀ¸·Î ¿¬°áµÅ ÀÖ´Â Á¾¸ñ ã±â¿¡ ÅõÀÚÀÚµéÀÌ °ü½ÉÀ» ±â¿ïÀÌ°í ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¼öÇýÁÖ·Î ²ÅÈ÷¸ç ÃÖ±Ù ÁÖ°¡°¡ ¿¬ÀÏ °¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©´Â Áö³´Þ 26ÀϺÎÅÍ 9°Å·¡ÀÏ° »ó½Â ÇàÁøÀ» Áö¼Ó ÁßÀÌ´Ù. ¿ÃÇØ µé¾î¼¸¸ 20% °¡±îÀÌ ¿Ã¶ú´Ù. Áö³´Þ¿¡¸¸ 5°÷ÀÇ Áõ±Ç»ç¿¡¼ ±â¾÷ºÐ¼® º¸°í¼°¡ ½ñ¾ÆÁö¸ç »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¼öÇý¿¡ µû¸¥ À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ °¡Æĸ¥ ¼ºÀå¼¼¸¦ Àü¸ÁÇß´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ÁÖ·Â ÀåºñÀÎ ½Ì±ÛŸÀÔ LPCVD(Low Pressure CVD)´Â ºñ¸Þ¸ð¸®¿Í ¸Þ¸ð¸®¿¡ ¸ðµÎ »ç¿ëµÇ¸ç »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÏÀ̴нº ¾çÂÊ ¸ðµÎ¿¡ °ø±ÞµÇ°í ÀÖ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ 4ºÐ±â ½ÇÀûÀº ¾î´×¼ÇÁ¶óÀÌÁî ¼öÁØÀÏ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù.
´ë¿ìÁõ±ÇÀº À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ 4ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×ÀÌ Àü³â µ¿±â ´ëºñ 108.3% Áõ°¡ÇÑ 383¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 61.7% ´Ã¾î³ 84¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. ¼ÛÁ¾È£ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡°±¹³» Àåºñ¾÷üµé Áß¿¡¼ À¯ÁøÅ×ũó·³ Àü³â ´ëºñ ³ôÀº ¼ºÀå·üÀ» ±â·ÏÇÏ´Â °ÍÀº µå¹® °æ¿ì¡±¶ó¸ç ¡°¿¬°£ ½ÇÀû Àü¸Áµµ ¸ÅÃâ¾× 1744¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 387¾ï¿øÀ¸·Î ´ëÆø »óÇâ Á¶Á¤ÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
6ÀÏ ÀåÁß 1¸¸3400¿øÀ¸·Î 52ÁÖ ÃÖ°í°¡ ±â·ÏÀ» ¼¼¿î ÀÏÁøµð½ºÇ÷¹À̵µ »ï¼ºÀüÀÚ ¼öÇýÁÖ·Î ²ÅÈ÷¸ç ÁÖ°¡°¡ Å©°Ô ¶Ù¾ú´Ù. ¿ì¸®ÅõÀÚÁõ±ÇÀº ÀÏÁøµð½ºÇ÷¹ÀÌ¿¡ ´ëÇØ '»ï¼ºÀüÀÚ ¸ð¹ÙÀϱâ±â ¾çÀûÆØâ ±¹¸éÀÇ ¼öÇýÁÖ'¶ó°í Æò°¡ÇÏ°í ¸ñÇ¥ÁÖ°¡¸¦ ±âÁ¸ 1¸¸3500¿ø¿¡¼ 1¸¸7000¿øÀ¸·Î 26% »óÇâ Á¶Á¤Çß´Ù. ±èÇý¿ë ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡° 7~10.1ÀÎÄ¡ ÅÍÄ¡ÆгΠ1À§ °ø±Þ¾÷üÀÎ ÀÏÁøµð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ °æ¿ì ¿ÃÇØ »ï¼ºÀüÀÚ ÁßÀú°¡ ½º¸¶Æ®Æù ¸ÅÃâÀÌ Å©°Ô ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î º¸¿© ÈÞ´ëÆù¿ë ÅÍÄ¡ÆгΠºÎ¹®¿¡¼ Ãß°¡ ¸ÅÃâÀÌ °¡´ÉÇÒ °Í¡±À̶ó°í ÆÇ´ÜÇß´Ù. À̳¯ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í 100¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ °ø±Þ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í ¹àÈù ¿µ¿ìÅë½Åµµ ÁÖ°¡°¡ ÀåÁß 8% ±ÞµîÇϱ⵵ Çß´Ù.
Áõ±Ç¾÷°è¿¡¼´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼°øÀå °Ç¼³, º¸±ÞÇü ÈÞ´ëÀüÈ °ø±Þ È®´ë µî°ú ¿¬°üµÈ Çù·Â»çµéÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ Å׸¶ÁÖ·Î ¹ÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù°í Àü¸ÁÇß´Ù.
¼ÛÈÁ¤ ±âÀÚ yeekin77@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ 6ÀÏ Áö³ÇØ 4ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ 5Á¶2000¾ï¿øÀ¸·Î ºÐ±â ±âÁØ »ç»ó ÃÖ´ë½ÇÀûÀ» °Åµ×´Ù°í ¹ßÇ¥Çѵ¥´Ù ¿ÃÇØ ÅõÀÚÈ®´ë¸¦ °ø½ÄÈÇÏ¸é¼ Çù·Â»ç µî »ï¼ºÀüÀÚ¿Í Á÷°£Á¢ÀûÀ¸·Î ¿¬°áµÅ ÀÖ´Â Á¾¸ñ ã±â¿¡ ÅõÀÚÀÚµéÀÌ °ü½ÉÀ» ±â¿ïÀÌ°í ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ´ëÇ¥ÀûÀÎ ¼öÇýÁÖ·Î ²ÅÈ÷¸ç ÃÖ±Ù ÁÖ°¡°¡ ¿¬ÀÏ °¼¼¸¦ º¸ÀÌ°í ÀÖ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©´Â Áö³´Þ 26ÀϺÎÅÍ 9°Å·¡ÀÏ° »ó½Â ÇàÁøÀ» Áö¼Ó ÁßÀÌ´Ù. ¿ÃÇØ µé¾î¼¸¸ 20% °¡±îÀÌ ¿Ã¶ú´Ù. Áö³´Þ¿¡¸¸ 5°÷ÀÇ Áõ±Ç»ç¿¡¼ ±â¾÷ºÐ¼® º¸°í¼°¡ ½ñ¾ÆÁö¸ç »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¼öÇý¿¡ µû¸¥ À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ °¡Æĸ¥ ¼ºÀå¼¼¸¦ Àü¸ÁÇß´Ù.
À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ ÁÖ·Â ÀåºñÀÎ ½Ì±ÛŸÀÔ LPCVD(Low Pressure CVD)´Â ºñ¸Þ¸ð¸®¿Í ¸Þ¸ð¸®¿¡ ¸ðµÎ »ç¿ëµÇ¸ç »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÏÀ̴нº ¾çÂÊ ¸ðµÎ¿¡ °ø±ÞµÇ°í ÀÖ´Ù. À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ 4ºÐ±â ½ÇÀûÀº ¾î´×¼ÇÁ¶óÀÌÁî ¼öÁØÀÏ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù.
´ë¿ìÁõ±ÇÀº À¯ÁøÅ×Å©ÀÇ 4ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×ÀÌ Àü³â µ¿±â ´ëºñ 108.3% Áõ°¡ÇÑ 383¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 61.7% ´Ã¾î³ 84¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù. ¼ÛÁ¾È£ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡°±¹³» Àåºñ¾÷üµé Áß¿¡¼ À¯ÁøÅ×ũó·³ Àü³â ´ëºñ ³ôÀº ¼ºÀå·üÀ» ±â·ÏÇÏ´Â °ÍÀº µå¹® °æ¿ì¡±¶ó¸ç ¡°¿¬°£ ½ÇÀû Àü¸Áµµ ¸ÅÃâ¾× 1744¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 387¾ï¿øÀ¸·Î ´ëÆø »óÇâ Á¶Á¤ÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
6ÀÏ ÀåÁß 1¸¸3400¿øÀ¸·Î 52ÁÖ ÃÖ°í°¡ ±â·ÏÀ» ¼¼¿î ÀÏÁøµð½ºÇ÷¹À̵µ »ï¼ºÀüÀÚ ¼öÇýÁÖ·Î ²ÅÈ÷¸ç ÁÖ°¡°¡ Å©°Ô ¶Ù¾ú´Ù. ¿ì¸®ÅõÀÚÁõ±ÇÀº ÀÏÁøµð½ºÇ÷¹ÀÌ¿¡ ´ëÇØ '»ï¼ºÀüÀÚ ¸ð¹ÙÀϱâ±â ¾çÀûÆØâ ±¹¸éÀÇ ¼öÇýÁÖ'¶ó°í Æò°¡ÇÏ°í ¸ñÇ¥ÁÖ°¡¸¦ ±âÁ¸ 1¸¸3500¿ø¿¡¼ 1¸¸7000¿øÀ¸·Î 26% »óÇâ Á¶Á¤Çß´Ù. ±èÇý¿ë ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡° 7~10.1ÀÎÄ¡ ÅÍÄ¡ÆгΠ1À§ °ø±Þ¾÷üÀÎ ÀÏÁøµð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ °æ¿ì ¿ÃÇØ »ï¼ºÀüÀÚ ÁßÀú°¡ ½º¸¶Æ®Æù ¸ÅÃâÀÌ Å©°Ô ´Ã¾î³¯ °ÍÀ¸·Î º¸¿© ÈÞ´ëÆù¿ë ÅÍÄ¡ÆгΠºÎ¹®¿¡¼ Ãß°¡ ¸ÅÃâÀÌ °¡´ÉÇÒ °Í¡±À̶ó°í ÆÇ´ÜÇß´Ù. À̳¯ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í 100¾ï¿ø ±Ô¸ðÀÇ °ø±Þ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í ¹àÈù ¿µ¿ìÅë½Åµµ ÁÖ°¡°¡ ÀåÁß 8% ±ÞµîÇϱ⵵ Çß´Ù.
Áõ±Ç¾÷°è¿¡¼´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Áß±¹ ¹ÝµµÃ¼°øÀå °Ç¼³, º¸±ÞÇü ÈÞ´ëÀüÈ °ø±Þ È®´ë µî°ú ¿¬°üµÈ Çù·Â»çµéÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ Å׸¶ÁÖ·Î ¹ÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù°í Àü¸ÁÇß´Ù.
¼ÛÈÁ¤ ±âÀÚ yeekin77@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>