Æ÷·³´º½º
¼Ò¸®¸¦ º¼ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÄ¡ °³¹ß, û°¢Àå¾ÖÀο¡ ¡®Èñ¸Á¡¯
ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2013.04.07 22:30 ±â»çÀÔ·Â2013.04.07 21:45
CMOS ½Åȣ󸮼ÒÀÚ°¡ ¹À½À¸·Î ÇÕÃÄÁø MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù. |
Çѱ¹±â°è¿¬±¸¿ø ³ª³ëÀÚ¿¬¸ð»ç¿¬±¸½Ç Çã½Å ¹Ú»çÆÀÀº ¹Ì·¡Ã¢Á¶°úÇкΠ½Å±â¼úÀ¶ÇÕÇü ¼ºÀ嵿·Â»ç¾÷ÀÇ ½Å°æ¸ð¹æ ¼ÒÀÚ ¹× ÀÎÁö½Ã½ºÅÛÀ¶ÇÕ¿¬±¸´Ü(´ÜÀå ¿ì»ï¿ë) Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ û°¢Àå¾ÖÀÎÀÇ Ã»°¢º¸Á¶¸¦ À§ÇØ ³ôÀº °¨µµ¿Í ±¤´ë¿ª ÁÖÆļö Ư¼ºÀ» °®´Â ÃʼÒÇü û°¢¼ÒÀÚ¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í 7ÀÏ ¹àÇû´Ù.
°³¹ßµÈ ±â¼úÀº ¾È°æ, ¸ñ°ÉÀÌ, ÆÈÂî µî ÈÞ´ë¿ëÀ̳ª Âø¿ëÇü Àåºñ¿¡ ¾²ÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. û°¢Àå¾ÖÀεéÀÇ Àå¾Ö³ëÃâÀ» ÃÖ¼ÒȽÃų ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ±Ã±ØÀûÀ¸·Î û°¢Àå¾ÖÀΰú ³ë¾àÀÚÀÇ »îÀÇ ÁúÀÌ Å©°Ô ³ª¾ÆÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù.
°³¹ßµÈ ÃʼÒÇü û°¢¼ÒÀÚÀÎ MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù ¼ÒÀÚ´Â 4ÀÎÄ¡ ½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛ ±âÁØÀ¸·Î ¼ö¹é °³ÀÇ ¼ÒÀÚ¸¦ ´ë·®À¸·Î ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â MEMS °øÁ¤±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ Àú°¡È, ÃʼÒÇüÈ, ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯¼ºÀ» °í¸£°Ô ³ªÅ¸³¾ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù.
±âÁ¸ÀÇ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆùÀº ÁÖ·Î ÈÞ´ë¿ë Á¤º¸Åë½Å(IT)±â±âÀÇ À½¼ºÃ³¸®¿¡ ¸Â´Â Ư¼ºÀ» °®°í ÀÖÀ¸³ª À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù±â¼úÀº û°¢Àå¾ÖÀÎÀÌ µè°í ½Í¾î ÇÏ´Â ¼Ò¸®¹æÇâ°ú ¹ß»ýÀ§Ä¡¸¦ ½Ã°¢ÀûÀ¸·Î È®ÀÎÇÒ ¼ö Àִ û°¢º¸Á¶¿ëÀåÄ¡ÀÇ Çٽɱâ¼úÀÌ´Ù.
´Ü¼øÈ÷ ¼Ò¸® Å©±â¸¦ Å°¿ì´Â º¸Ã»±â³ª °íµµ³Ã»È¯Àڵ鿡°Ô À̽ĵǴ Àΰø¿Í¿ì¿Íµµ Â÷º°ÈµÈ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ½Ç¸®ÄܱâÆÇ¿¡ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù¼ÒÀÚ ¹× CMOS ½Åȣ󸮼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé¾î ÀÌ µÎ ¼ÒÀÚ¸¦ ÆÐŰ¡ÇÑ 6mm¡¿7mm Å©±âÀÇ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆùÀ» °³¹ßÇß´Ù.
½Åȣ󸮼ÒÀÚ´Â ¸¶ÀÌÅ©¼ÒÀÚ¿¡¼ »ý±â´Â ÀÛÀº Àü±â½ÅÈ£¸¦ Å°¿ì´Â ¿ªÇÒÀ» Çϸç Àü·Â ¼Ò¸ð°¡ Àû°í ½ÅÈ£ ´ë ÀâÀ½ºñ°¡ ³ô´Ù´Â Ư¼ºÀ» °®°í ÀÖ´Ù.
Çѱ¹±â°è¿¬±¸¿ø ³ª³ëÀÚ¿¬¸ð»ç¿¬±¸½Ç Çã½Å ¹Ú»ç |
°³¹ßµÈ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆùÀº û°¢Àå¾ÖÀÎÀÇ Ã»°¢º¸Á¶¿ëÀåÄ¡¿¡ Àû¿ë, À½¿øÀ» °¡½ÃÈÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÀϹÝÀûÀÎ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù °¨µµ(-42.0dB)º¸´Ù ¿ì¼öÇÑ °¨µµ ¹× ³ÐÀº ÁÖÆļö ´ë¿ª (100~5,000Hz)À» °®°í ÀÖ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ¿ÃÇØ ¸»±îÁö 4mm¡¿4mm·Î ÁÙ¿© È°¿ë¿µ¿ª ¹× ±â¼ú°æÀï·ÂÀ» ´õ ³ôÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÃʼÒÇü û°¢¼ÒÀÚ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ³ª¿À´Â ¼Ò¸®¸¦ ½Ã°¢ÈÇÏ´Â ¿ø¸®´Â À½¿øÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀüÆĵǴ À½ÆÄ°¡ À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ ÃʼÒÇü û°¢¼ÒÀڹ迷ΠÀÔ»çÇÒ ¶§ ÃøÁ¤µÇ´Â °¢°¢ÀÇ À½¾Ð ½ÅÈ£ÀÇ °ø°£ºÐÆ÷¸¦ °¡½ÃÈ ¾Ë°í¸®ÁòÀ¸·Î ½Ã°¢ÈÇØ Ã»°¢Àå¾ÖÀÎÀÌ ´«À¸·Î º¼ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¿¬±¸Ã¥ÀÓÀÚÀÎ Çã½Å ¹Ú»ç´Â ¡°Ã»°¢Àå¾ÖÀε鿡°Ô ¼Ò¸®¸¦ ½Ã°¢À¸·Î ÀνÄÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÀ» ¿¾ú´Ù´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù¡±¸ç ¡°MEMS ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆù¼ÒÀÚ´Â ¸ðµÎ ¿Ü±¹¿¡¼ µé¿©¿À°í ÀÖÁö¸¸ ÀÌ ±â¼úÀÌ »ó¿ëÈµÇ¸é ¾à 10¾ï ´Þ·¯ÀÇ ¼öÃâ ¹× ¼öÀÔ´ëüȿ°ú°¡ ¿¹»óµÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ¿µÃ¶ ±âÀÚ panpanyz@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>