Æ÷·³´º½º
¹ÌÄÚ, ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ Àü½Ãȸ '¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2014' Âü°¡
ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2014.02.12 09:53 ±â»çÀÔ·Â2014.02.12 09:53
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ±è¼Ò¿¬ ±âÀÚ]¹ÌÄÚ°¡ 12ÀÏ, À̳¯ºÎÅÍ 14ÀϱîÁö ¼¿ï ÄÚ¿¢½º¿¡¼ °³ÃֵǴ ±¹³» ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ Àü½Ãȸ ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2014(SEMICON Korea 2014)¿¡ Âü°¡ÇØ ½Å±Ô °³¹ßµÈ ±¹»êÈ ºÎÇ° ¼ÒÀ縦 ¼±º¸ÀδÙ.
¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2014´Â ¹Ì±¹, ÀϺ», ´ë¸¸, µ¶ÀÏ µîÀ» ºñ·ÔÇØ Àü ¼¼°è 20°³±¹ 500°³»ç°¡ Âü°¡ÇÏ´Â ±¹³» ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àü½Ãȸ´Ù. ƯÈ÷ ¼¼¹ÌÄÜÄÚ¸®¾Æ¿¡¼´Â Á¦Ç° È«º¸ ¹× ¹ÙÀÌ¾î ¹ÌÆÃÀÌ ÀÌ·ïÁú »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ½Å±Ô ºñÁî´Ï½º âÃâ ¹× Çù·ÂÀ» À§ÇÑ ½ÇÁúÀûÀÎ ºñÁî´Ï½º ⱸ ¿ªÇÒµµ °°ÀÌÇÑ´Ù.
¹ÌÄÚ´Â À̹ø Àü½Ãȸ¿¡¼ 300§® ¼¼¶ó¹Í È÷ÅÍ(AlN Heater)¿Í ¼¼¶ó¹Í Á¤Àüô(Electro-static Chuck, ±âÆÇ°íÁ¤ ºÎÇ°) ¹× ¼¼¶ó¹Í ±âÆÇ(Substrate) µî ´Ù¾çÇÑ ±¹»êÈ ¼ÒÀçºÎÇ° Àü½Ã¸¦ ÅëÇØ, ¹ÌÄÚÀÇ ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶ ±â¼úÀÇ Ã·´Ü ±â¼ú·ÂÀ» º¸¿©ÁÙ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¶Ç ÃÑ 30¿©Á¾ÀÇ °í ±â´É¼º ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ Àç·áµéµµ ±¹³»¿Ü ¹ÙÀ̾îµé¿¡°Ô ¼Ò°³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
¶Ç ±¹³» ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÑ ¹ÝµµÃ¼ PE CVD(ÇöóÁ ÈÇÐÁõÂø)°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¼¼¶ó¹Í È÷Å͸¦ ¼±º¸ÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¹ÌÄÚ´Â ÀÌ Á¦Ç°À¸·Î Áö³ÇØ ¸ÅÃâ 90¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇßÀ¸¸ç, ¿ÃÇØ´Â ¾à 200¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí, À̹ø Àü½Ãȸ¿¡¼ ¹ÌÄÚÀÇ °è¿»çÀÎ ÄÚ¹ÌÄÚµµ °í°¡ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD Á¦Á¶Àåºñ ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°¿¡ ´ëÇÑ Á¤¹Ð¼¼Á¤, Ư¼öÄÚÆÃ, Àç»ý±â¼úÀ» ¼Ò°³ÇÒ °èȹÀÌ¸ç ¹ÌÄÚ¿¡½º¾ØÇÇ(SnP)´Â ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç½Ã »ç¿ëµÇ´Â ¹Ì¼¼ÇÇÄ¡(40um) ´ëÀÀ¿ë ¼öÁ÷Çü(Vertical) ÇÁ·ÎºêÄ«µå(Probe Card) µîÀ» ¼±º¸ÀδÙ.
Àü¼±±Ô ¹ÌÄÚ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â ¡°¸Å³â ½Ç½ÃÇÏ´Â ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ´Â ÀÚ»çÀÇ ±â¾÷ È«º¸ºÎÅÍ Á¦Ç° È«º¸ ¹× °è¾à ¼º»ç±îÁö ÁøÇàÀÌ °¡´ÉÇØ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ ÃàÁ¦·Î ºÒ¸°´Ù¡±¸ç ¡°À̹ø Àü½Ãȸ¿¡ ¼¼¶ó¹Í È÷ÅÍ µî ´ç»çÀÇ Ã·´Ü ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶ ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¸¸µç Á¦Ç°À» ¼±º¸¿© ½Å±Ô °Å·¡Ã³ È®º¸¿Í ¸ÅÃâ Çâ»óÀÌ ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
±è¼Ò¿¬ ±âÀÚ nicksy@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ 2014´Â ¹Ì±¹, ÀϺ», ´ë¸¸, µ¶ÀÏ µîÀ» ºñ·ÔÇØ Àü ¼¼°è 20°³±¹ 500°³»ç°¡ Âü°¡ÇÏ´Â ±¹³» ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Àü½Ãȸ´Ù. ƯÈ÷ ¼¼¹ÌÄÜÄÚ¸®¾Æ¿¡¼´Â Á¦Ç° È«º¸ ¹× ¹ÙÀÌ¾î ¹ÌÆÃÀÌ ÀÌ·ïÁú »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ½Å±Ô ºñÁî´Ï½º âÃâ ¹× Çù·ÂÀ» À§ÇÑ ½ÇÁúÀûÀÎ ºñÁî´Ï½º ⱸ ¿ªÇÒµµ °°ÀÌÇÑ´Ù.
¹ÌÄÚ´Â À̹ø Àü½Ãȸ¿¡¼ 300§® ¼¼¶ó¹Í È÷ÅÍ(AlN Heater)¿Í ¼¼¶ó¹Í Á¤Àüô(Electro-static Chuck, ±âÆÇ°íÁ¤ ºÎÇ°) ¹× ¼¼¶ó¹Í ±âÆÇ(Substrate) µî ´Ù¾çÇÑ ±¹»êÈ ¼ÒÀçºÎÇ° Àü½Ã¸¦ ÅëÇØ, ¹ÌÄÚÀÇ ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶ ±â¼úÀÇ Ã·´Ü ±â¼ú·ÂÀ» º¸¿©ÁÙ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¶Ç ÃÑ 30¿©Á¾ÀÇ °í ±â´É¼º ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àåºñ Àç·áµéµµ ±¹³»¿Ü ¹ÙÀ̾îµé¿¡°Ô ¼Ò°³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
¶Ç ±¹³» ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇÑ ¹ÝµµÃ¼ PE CVD(ÇöóÁ ÈÇÐÁõÂø)°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¼¼¶ó¹Í È÷Å͸¦ ¼±º¸ÀÏ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¹ÌÄÚ´Â ÀÌ Á¦Ç°À¸·Î Áö³ÇØ ¸ÅÃâ 90¾ï¿øÀ» ±â·ÏÇßÀ¸¸ç, ¿ÃÇØ´Â ¾à 200¾ï¿øÀÇ ¸ÅÃâÀ» ´Þ¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí, À̹ø Àü½Ãȸ¿¡¼ ¹ÌÄÚÀÇ °è¿»çÀÎ ÄÚ¹ÌÄÚµµ °í°¡ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD Á¦Á¶Àåºñ ¼Ò¸ð¼º ºÎÇ°¿¡ ´ëÇÑ Á¤¹Ð¼¼Á¤, Ư¼öÄÚÆÃ, Àç»ý±â¼úÀ» ¼Ò°³ÇÒ °èȹÀÌ¸ç ¹ÌÄÚ¿¡½º¾ØÇÇ(SnP)´Â ¿þÀÌÆÛ °Ë»ç½Ã »ç¿ëµÇ´Â ¹Ì¼¼ÇÇÄ¡(40um) ´ëÀÀ¿ë ¼öÁ÷Çü(Vertical) ÇÁ·ÎºêÄ«µå(Probe Card) µîÀ» ¼±º¸ÀδÙ.
Àü¼±±Ô ¹ÌÄÚ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â ¡°¸Å³â ½Ç½ÃÇÏ´Â ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ´Â ÀÚ»çÀÇ ±â¾÷ È«º¸ºÎÅÍ Á¦Ç° È«º¸ ¹× °è¾à ¼º»ç±îÁö ÁøÇàÀÌ °¡´ÉÇØ ¹ÝµµÃ¼»ê¾÷ÀÇ ÃàÁ¦·Î ºÒ¸°´Ù¡±¸ç ¡°À̹ø Àü½Ãȸ¿¡ ¼¼¶ó¹Í È÷ÅÍ µî ´ç»çÀÇ Ã·´Ü ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶ ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¸¸µç Á¦Ç°À» ¼±º¸¿© ½Å±Ô °Å·¡Ã³ È®º¸¿Í ¸ÅÃâ Çâ»óÀÌ ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù.
±è¼Ò¿¬ ±âÀÚ nicksy@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>