Æ÷·³´º½º
2015³â IT»ê¾÷ Å°¿öµå 'Ç÷º¼ºí' 'ºòµ¥ÀÌÅÍ' '3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼'
ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2014.11.10 08:43 ±â»çÀÔ·Â2014.11.10 08:43
. |
³»³â Áß Ç÷º¼ºí µð½ºÇ÷¹ÀÌ º»°ÝÈ ¿¹»ó
ºòµ¥ÀÌÅÍ, Á¶¿ëÈ÷ ¸Þ¸ð¸® Á¦¿À¾÷ü ¸ÅÃâÈ®´ë¿¡ ±â¿©Áß
2016³â EUV °³¹ß ¿Ï·áµÉ¶§±îÁö ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÇ ´ëÀÀó¹æÀº 3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ]2015³â IT »ê¾÷ÀÇ ÁÖ¿ä Å°¿öµå´Â Ç÷º¼ºí, ºòµ¥ÀÌÅÍ, 3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼°¡ µÉ °ÍÀ̶ó´Â ºÐ¼®ÀÌ ³ª¿Ô´Ù.
10ÀÏ ½Å¿µÁõ±ÇÀº ³»³â IT»ê¾÷ÀÇ ÁÖ¿ä Å°¿öµå·Î ¡ãÇ÷º¼ºí ¡ãºòµ¥ÀÌÅÍ ¡ã3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼¸¦ Á¦½ÃÇß´Ù.
Ç÷º¼ºíÀº ³»³â º½¿¡ ¾ÖÇÿöÄ¡°¡ Ãâ½ÃµÇ±â ½ÃÀÛÇÏ¸é¼ ½ÃÀå °³È°¡ ÀÌ·ïÁö°í »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ½º¸¶Æ®¿öÄ¡ ±â¾îS Ãâ½Ã¿¡ À̾î Ç÷º¼ºí OLED¸¦ ä¿ëÇÑ ½º¸¶Æ®Æù °¶·°½Ã³ëÆ® ¿§Áö ÈÄ¼Ó ¸ðµ¨À» ³»³â ¾ç»êÇÏ¸ç º»°Ý鵃 °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù.
ÇöÀç ¾ÖÇÿöÄ¡ÀÇ °¡°ÝÀº 349´Þ·¯·Î Ã¥Á¤µÆÀ¸¸ç LGµð½ºÇ÷¹ÀÌ°¡ ¾ÖÇÿöÄ¡¿ë Ç÷º¼ºí OLED ÆгΠ´Üµ¶ °ø±Þ¾÷ü·Î ¿¹Á¤µÈ »óÅ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ½º¸¶Æ®Æù ºÎ¹®¿¡¼ÀÇ Â÷º°È¸¦ À§ÇØ Ç÷º¼ºí µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× ¸ÞÅ» ¼ÒÀç µµÀÔÀ» ÃßÁø ÁßÀÌ´Ù.
ÇÙ½É Å°¿öµå·Î ²ÅÈ÷´Â ºòµ¥ÀÌÅÍ´Â °Å´ëÇϸç Çü½ÄÀÌ ´Ù¾çÇÏ°í ¼øȯ¼Óµµ°¡ ¸Å¿ì »¡¶ó¼ ±âÁ¸ ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â °ü¸®, ºÐ¼®ÀÌ ¾î·Á¿î µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀǹÌÇÑ´Ù.
ÀÓµ¹ÀÌ ½Å¿µÁõ±Ç ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "°ú°Å¿¡ ºñÇØ ¼ö¸¹Àº Á¤º¸µéÀÌ ³ÑÃijª´Â ½Ã´ë¿¡ »ì°í ÀÖÀ¸¸ç±â¾÷µéÀº ÀÌ·¯ÇÑ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÀÌÀ±À» âÃâÇϱ⸦ ¿øÇÑ´Ù"¸ç "ÇÏÁö¸¸ °¡Ä¡ÀÖ´Â µ¥ÀÌÅ͸¦ ±¸ºÐÇØ ³»°í À̸¦ ºÐ¼®, °¡°øÇÏ´Â ÀÏÀº °áÄÚ ½±Áö ¾Ê´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ´ë¿ë·®ÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ¼öÁý, ÀúÀå, ºÐ¼®ÇÏ´Â ±â¼úµéÀÌ ½ÉµµÀÖ°Ô ¿¬±¸µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ¼ÒºñÀÚ´Â ½Ç°¨ ¸øÇصµ ¸Þ¸ð¸® Á¦Á¶¾÷ü¿¡°Ô´Â ÀÌ·¯ÇÑ ÀúÀå Çʿ伺ÀÇ Áõ°¡°¡ ¸ÅÃâ È®´ë¿¡ ±â¿©ÇÏ°Ô µÈ´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù.
½Å¿µÁõ±Ç¿¡ µû¸£¸é ÀúÀåÇØ¾ß ÇÒ µ¥ÀÌÅÍÀÇ ¾çÀº 2³â¸¶´Ù 2¹è¾¿ ¼ºÀåÇØ 2012³â 2800EB(¿¢»ç¹ÙÀÌÆ®: 2ÀÇ 60Á¦°ö ¹ÙÀÌÆ® )¿¡¼ 2015³â 8600EB·Î, 2020³â¿¡´Â 4¸¸EB¿¡ À̸¦ °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøµÇ°í ÀÖ´Ù.
ºòµ¥ÀÌÅÍ È®»ê¿¡ µû¸¥ µ¥ÀÌÅÍ Æ®·¡ÇÈÀÇ Áõ°¡´Â ¼¹ö¿ë DRAM ¹× NAND FlashÀÇ ¼ºÀå°ú ¹ÐÁ¢ÇÑ °ü·ÃÀÌ ÀÖ´Ù°í ½Å¿µÁõ±ÇÀº ¹àÇû´Ù. ºòµ¥ÀÌÅÍ¿Í °ü·ÃÇؼ ¼¹ö¿ëDRAM ¼ö¿ä´Â 2018³â±îÁö ¿¬Æò±Õ 30% ÀÌ»óÀÇ °í¼ºÀåÀ» Áö¼ÓÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤Çß´Ù.
¾Æ¿ï·¯ EUV(Extreme Ultraviolet) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ´Â ÇöÀç ÀϹÝÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â 193nm ArFÀÇ 10ºÐÀÇ 1¿¡ ÇØ´çÇÏ´Â ´ÜÆÄÀåÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ EUVÀÇ °¡Àå Å« Ư¡Àº ±¼Àý ±¤Çа踦 »ç¿ëÇÏ´Â ±âÁ¸Àdz뱤 ÀåÄ¡¿Í´Â ´Þ¸® ¹Ý»ç ±¤Çа踦 ÀÌ¿ëÇÑ´Ù´Â Á¡ÀÌ´Ù. °Å¿ï(mirror)ÀÇ ¹Ý»çÀ²À» ³ôÀ̱â À§ÇØÄÚÆà ÀçÁú·Î¼´Â Mo/Si ¶Ç´Â Mo/BeÀÇ ´ÙÃþ¸· Àç·á°¡ »ç¿ëµÈ´Ù.
½Å¿µÁõ±ÇÀº ¹ÝµµÃ¼¾÷üµéÀÌ 3Â÷¿ø ÀûÃþ ¹æ½ÄÀÇ »õ·Î¿î ¼³°è ±¸Á¶¸¦ µµÀÔÇØ ¿ø°¡ Àý°¨À» ½ÃµµÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç Àå±âÀûÀ¸·Î´Â ±âÁ¸ Á¦Ç°À» ´ëüÇÏ´Â »õ·Î¿î ÇüÅÂÀÇ Â÷¼¼´ë ¸Þ¸ð¸® °³¹ßÀ» À§ÇØ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù. ¶ÇÇÑ 2016³â°æ EUVÀÇ °³¹ßÀÌ ¿Ï·áµÇ¸é 3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼¿Í ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÀüȯÀ» ÅëÇÕÇØ °æÀï¿¡¼ ¾Õ¼ ³ª°¡±â À§ÇÑ Àü·«À» ¼¼¿ì°í ÀÖ´Ù°í ÀüÇß´Ù.
ÀÌÃÊÈñ ±âÀÚ cho77love@asiae.co.kr
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>