[아시아경제 김은별 기자]주성엔지니어링은 FPD(Flat Panel Display)와 태양전지 장비에 사용되는 반응 챔버에서 열적 변형을 방지하고 박막의 두께 균일도를 향상 시킬 수 있는 가스분사장치에 관한 특허를 취득했다고 5일 공시했다.

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김은별 기자 silverstar@asiae.co.kr
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