[아시아경제 황상욱 기자] 머크가 오는 27일부터 29일까지 독일 슈트르가르트에서 개최되는 태양광 박람회 'Photon Technology Show 2010'에서 'SE lab' 공정 컨셉을 최초 공개한다고 22일 밝혔다.

머크는 지난해 9월 쉴러 오토메이션과 실리콘 웨이퍼 태양전지를 만드는 핵심 공정 중 하나인 에지 분리(edge isolation: 실리콘 웨이퍼 p-n접합면에서의 전극분리)를 위한 기술 협력을 발표했다.

협력을 바탕으로 만들어진 혁신적인 공정장비 모델인 'SE lab'은 결정형 실리콘 웨이퍼의 에지 분리를 완전 자동으로 처리하는 공정에 들어가는 것으로 머크가 개발한 에칭 페이스트 제품인 '이지쉐이프 솔라에치®SiD(Isishape SolarEtch® SiD)'가 사용된다.

'SE lab'은 두 회사의 기술 협력을 바탕으로 태양전지의 와트당 생산비 절감을 목표로 한 것으로 새로운 공정은 다양한 업체와 연구소의 효율 검증을 거쳤으며, 이를 통해 얻은 신뢰성 있는 결과를 바탕으로 양산 라인에 적용할 수 있는 원형제품이다. 이 제품이 이번 박람회에서 업계 전문가들에게 처음으로 공개된다.

머크와 쉴러가 공동으로 만든 새로운 공정 컨셉은 기존의 습식 화학 분리 방법(comprehensive wet chemical isolation)이나 레이저 분리 공정과 같은 에지 분리 방식에 비해 많은 장점을 가지고 있다는 설명이다. 이러한 새로운 공정 컨셉을 통해 이지쉐이프 솔라에치 SiD는 웨이퍼의 후면 에칭에 신속하고 정확하게 사용할 수 있다.

머크의 연구개발(R&D) 구조화 솔루션(Structuring Solutions)팀을 이끌고 있는 잉고 쾰러 박사는 "쉴러 오토메이션과의 파트너십으로 양산 공정에 적용할 수 있는 제품을 단기간 내에 개발할 수 있었다"며 "전시회가 끝난 후 'SE lab'을 머크 본사에 있는 애플리케이션 실험실에서 가동하고 실제 양산 조건에서 공정 테스트를 진행하면, 머크의 에지 분리 공정이 갖는 장점을 태양전지 업체들이 확인할 수 있을 것"이라고 말했다.

쉴러 오토메이션은 이번 장비를 개발하는 과정에서 장기간 축적한 제조 공정 경험을 바탕으로 머크가 안정적이고 신뢰할 수 있는 공정을 개발하는데 지원을 아끼지 않았다. 개발 프로젝트의 최우선 요소는 태양전지의 와트당 총생산비를 줄이는 것으로 이를 통해 높은 생산성과 수율(yield)을 달성하는 것이었다.

쉴러 오토메이션의 고객 센터 디렉터인 칼-하인츠 반뮐러는 "이제 머크가 양산조건에서 맞춤형 웨이퍼를 처리할 수 있게 됐으며 쉴러는 머크와의 협력을 통해 태양전지 업계에 저비용, 미래 지향의 솔루션을 제공할 수 있게 됐다"면서 "시험 가동 이후에는 시간당 3000~4000개의 웨이퍼를 투입할 수 있는 생산규모로 늘릴 예정"이라고 설명했다.

이번에 개발된 장비는 자동화 유연성이 높아 개별 업체의 생산라인과 장비를 손쉽게 조화시킬 수 있다는 게 특징이다. 또 에지 분리 외에 태양전지 구조를 변경해 'MWT(Metal Wrap Through)' 전지와 같은 다른 혁신적인 태양전지 컨셉에도 적용할 수 있다.

'SE lab' 시연은 박람회의 전시홀 4번에 설치된 쉴러 오토메이션 전시 부스(부스 J2)에서 볼 수 있다. 쉴러 오토메이션과 머크(전시홀 4번, 부스 J1)의 전문가들이 현장에서 직접 참가자들의 질문에 응대하며 새로운 장비와 에지 분리에 관해 설명할 예정이다.

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황상욱 기자 ooc@
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