Æ÷·³´º½º

Å×½º, ¿ÃÇØ ½ÇÀû ÃßÁ¤Ä¡ 30% »óȸÇÒ µí..'±ô¦ ½ÇÀû'<µ¿ºÎñû>

ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2010.06.24 08:55 ±â»çÀÔ·Â2010.06.24 08:55
±Û¾¾Å©°Ô ±Û¾¾ÀÛ°Ô ÀμâÇϱâ
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ]µ¿ºÎÁõ±ÇÀº 24ÀÏ Å×½º¿¡ ´ëÇØ ¿ÃÇØ ¿¹»ó½ÇÀûÀ» 30% »óȸÇÏ´Â ¾î´× ¼­ÇÁ¶óÀÌÁ ½ÃÇöÇÒ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù°í ¹àÇû´Ù.

±è½Âȸ ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â "Å×½ºÀÇ 2ºÐ±â ¸ÅÃâ¾×Àº 196¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 17¾ï¿øÀ¸·Î Àü³â µ¿±â´ëºñ °¢°¢ 235% Áõ°¡, ÈæÀÚÀüȯÀ» ±â·ÏÇÒ °Í"À̶ó¸ç "´çÃÊ ÀüºÐ±â ´ëºñ ¸ÅÃâ¾×°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ ¸ðµÎ °¨¼ÒÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß¾úÀ¸³ª ÇÏÀ̴нºÇâ PECVD(67¾ï¿ø) ¹× HF dry Etcher(67¾ï¿ø) ³³Ç°°ú ´ë¸¸ ¾Æ»çÈ÷À¯Åä¿ÍÀÇ 32¾ï¿ø ±Ô¸ð °ø±Þ°è¾à ü°á·Î ¿¹»óÄ¡¸¦ »óȸÇÒ °Í"À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.

±è ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ÀÌ¿¡µû¶ó ¿ÃÇØ Àüü½ÇÀûµµ ´çÃÊ ÃßÁ¤Çß´ø ¸ÅÃâ¾× 540¾ï¿ø, ¼øÀÌÀÍ 40¾ï¿ø º¸´Ù 30% ÀÌ»ó ³ô°Ô ³ª¿Ã °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù°í ºÐ¼®Çß´Ù.

±×´Â "ÇÏÀ̴нºÀÇ º»°ÝÀûÀÎ ¹Ì¼¼È­ Àüȯ ÅõÀÚ°¡ ÀÌ·ç¾îÁö¸é¼­ ¿ÃÇØ ½ÇÀûÀº ¿¹»óÄ¡¸¦ Å©°Ô »óȸÇÒ °Í"À̶ó¸ç "¿ÃÇØ ¸ÅÃâ¾×Àº 750¾ï¿ø, ¼øÀÌÀÍ 55¾ï¿øÀ¸·Î ´çÃÊ ¿¹»óÄ¡¸¦ 30% ÀÌ»ó »óȸÇÒ °Í"À̶ó°í µ¡ºÙ¿´´Ù.

±×´Â ¾Æ¿ï·¯ "½ÇÀûÃßÁ¤¿¡´Â ¹Ý¿µÇÏÁö ¾Ê¾ÒÁö¸¸ 4ºÐ±â Áß¿¡ »ï¼ºÀüÀÚÇâ PECVD ¸ÅÃâÀ» ±â´ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"¸ç "Å×½º´Â Áö³­ÇØ 7¿ù »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ PECVD¸¦ Ãʵµ ³³Ç°ÇÑ °æÇèÀÌ ÀÖ¾î ¸¸ÀÏ ³³Ç°¿¡ ¼º°øÇÑ´Ù¸é ¿ÃÇØ´Â 60¾ï¿ø ÀÌ»óÀÇ ¸ÅÃâÀÌ ±â´ëµÇ¸ç, ³»³âºÎÅÍ´Â100¾ï¿ø ÀÌ»óµµ °¡´ÉÇÏ´Ù"°í ÀüÇß´Ù.

[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ Áõ±Ç¹æ¼Û] - ¹«·á·Î Á¾¸ñ »ó´ã ¹Þ¾Æº¸¼¼¿ä


¹Ú¼±¹Ì ±âÀÚ psm82@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
¸ñ·Ï