Æ÷·³´º½º
[°ø½ÃPlus]Å×½º, 2Q È£½ÇÀû ´Þ¼º.. žçÀüÁöÀåºñ ¼öÁÖ Áõ°¡
ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2010.08.04 11:34 ±â»çÀÔ·Â2010.08.04 11:34
[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ÀÓö¿µ ±âÀÚ]¹ÝµµÃ¼ ¹× žçÀüÁö Àåºñ¾÷üÀÎ Å×½º(´ëÇ¥ ÁÖ¼þÀÏ)´Â 4ÀÏ 2ºÐ±â ¸ÅÃâ¾× 201¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ 20¾ï¿øÀ» ´Þ¼ºÇØ È£½ÇÀûÀ» ´Þ¼ºÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
¿ÃÇØ µé¾î 1ºÐ±â ÈæÀÚÀüȯ¿¡ À̾î 2ºÐ±â¿¡µµ PECVD ¹× HF°Ç½Ä½Ä°¢Àåºñµî ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¹Ì¼¼È ÇʼöÀåºñÀÇ ¼öÁÖÁõ°¡·Î ½ÇÀû°³¼±¿¡ ¼º°øÇÑ °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.
Å×½ºÀÇ »ó¹Ý±â ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾× 384¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â¿¡ ºñÇØ 398%°¡ ´Ã¾ú°í, ¿µ¾÷ÀÌÀ͵µ 35¾ïÀ¸·Î ÀÛ³â 42¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚÀüȯµÆ´Ù. ÀÌ´Â ÀÛ³â Àüü ¸ÅÃâ¾×ÀÎ 293¾ïÀ» »óȸÇÑ ¼öÁØÀÌ´Ù. ¿µ¾÷ÀÌÀ͵µ ÈæÀÚ ÀüȯÇØ ÅϾî¶ó¿îµå¿¡ ¼º°øÇß´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "¼öÁÖÁõ°¡»Ó ¾Æ´Ï¶ó ¿ø°¡Àý°¨ µî °æ¿µÇõ½Å È°µ¿À» ÅëÇÑ ÀÌÀÍÇâ»ó ³ë·ÂÀÌ ½ÇÀûÇâ»ó¿¡ Å« ±â¿©¸¦ Çß´Ù"¸ç "3ºÐ±â¿¡´Â ÀÌ¹Ì °ø½ÃµÈ ¼öÁֱݾ×ÀÌ 237¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇØ ¸ÅºÐ±â ½ÇÀû°³¼±Àº Áö¼ÓµÉ °Í"À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÓö¿µ ±âÀÚ cylim@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>
¿ÃÇØ µé¾î 1ºÐ±â ÈæÀÚÀüȯ¿¡ À̾î 2ºÐ±â¿¡µµ PECVD ¹× HF°Ç½Ä½Ä°¢Àåºñµî ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¹Ì¼¼È ÇʼöÀåºñÀÇ ¼öÁÖÁõ°¡·Î ½ÇÀû°³¼±¿¡ ¼º°øÇÑ °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.
Å×½ºÀÇ »ó¹Ý±â ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾× 384¾ïÀ¸·Î Àü³âµ¿±â¿¡ ºñÇØ 398%°¡ ´Ã¾ú°í, ¿µ¾÷ÀÌÀ͵µ 35¾ïÀ¸·Î ÀÛ³â 42¾ï ÀûÀÚ¿¡¼ ÈæÀÚÀüȯµÆ´Ù. ÀÌ´Â ÀÛ³â Àüü ¸ÅÃâ¾×ÀÎ 293¾ïÀ» »óȸÇÑ ¼öÁØÀÌ´Ù. ¿µ¾÷ÀÌÀ͵µ ÈæÀÚ ÀüȯÇØ ÅϾî¶ó¿îµå¿¡ ¼º°øÇß´Ù.
ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "¼öÁÖÁõ°¡»Ó ¾Æ´Ï¶ó ¿ø°¡Àý°¨ µî °æ¿µÇõ½Å È°µ¿À» ÅëÇÑ ÀÌÀÍÇâ»ó ³ë·ÂÀÌ ½ÇÀûÇâ»ó¿¡ Å« ±â¿©¸¦ Çß´Ù"¸ç "3ºÐ±â¿¡´Â ÀÌ¹Ì °ø½ÃµÈ ¼öÁֱݾ×ÀÌ 237¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇØ ¸ÅºÐ±â ½ÇÀû°³¼±Àº Áö¼ÓµÉ °Í"À̶ó°í °Á¶Çß´Ù.
ÀÓö¿µ ±âÀÚ cylim@
<¨Ï¼¼°è¸¦ º¸´Â â °æÁ¦¸¦ º¸´Â ´«, ¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦(www.asiae.co.kr) ¹«´ÜÀüÀç ¹èÆ÷±ÝÁö>