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ÃÖÁ¾¼öÁ¤ 2012.04.25 08:19 ±â»çÀÔ·Â2012.04.25 08:19
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[¾Æ½Ã¾Æ°æÁ¦ ±è¿µ½Ä ±âÀÚ]Çö´ëÁõ±ÇÀº 25ÀÏ OCI¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ 1ºÐ±â ½ÇÀûÀÌ ¿¹»óÀ» ¹Øµ¹¾Ò´Ù¸é¼­ ¸ñÇ¥ÁÖ°¡¸¦ Á¾Àü 10¸¸6000¿ø¿¡¼­ 7¸¸1000¿øÀ¸·Î ÇÏÇâ Á¶Á¤Çß´Ù.

¹ÚÁ¾¿î ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡°OCI¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ 1ºÐ±â ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº ÀüºÐ±â´ëºñ 32% °¨¼ÒÇÑ 163¾ï¿øÀ¸·Î ¿¹»óÀ» ¹Øµ¹¾Ò´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. žçÀüÁö ½ÃÀå ¾÷ȲÀÌ ¿¹»óº¸´Ù ´õ ¾ÇÈ­µÇ¸é¼­ ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4)ÀÇ ¼ö¿ä°¡ ºÎÁøÇß°í ´Ù¿ìÄÚ´×°°Àº ½Å±Ô¾÷üÀÇ °ø°ÝÀû ¸¶ÄÉÆÃÀ¸·Î °æÀïÀÌ ½ÉÈ­µÇ¸é¼­ Æò±Õ ÆÇ°¡°¡ 1ºÐ±â¿¡ 15% ÀÌ»ó ¶³¾îÁ³±â ¶§¹®À¸·Î ºÐ¼®Çß´Ù.

´Ù¸¸ ¹Ú ¾Ö³Î¸®½ºÆ®´Â ¡°2ºÐ±âºÎÅÍ´Â Á¡ÁøÀûÀ¸·Î °³¼±µÉ Àü¸Á¡±À̶ó¸é¼­ ¡°¿µ¾÷ÀÍÀÌ 185¾ï¿øÀ¸·Î ÀüºÐ±â ´ëºñ 14% ´Ã¾î³ª´Â µî Á¡ÁøÀû ½ÇÀû°³¼±ÀÌ ±â´ëµÇ¸ç, ¸ÅÃâÀÇ 70%¸¦ Â÷ÁöÇÏ´Â »ïºÒÈ­Áú¼Ò(NF3)ÀÇ °æ¿ì ÁÖ¿ä °í°´ÀÎ LCDÆгξ÷üµéÀÇ °¡µ¿·ü »ó½Â¿¡ µû¶ó ÃâÇÏ·®ÀÌ Áõ°¡ÇÏ°í SiH4ÀÇ °¡°Ý Ç϶ôÆøµµ Á¡Â÷ ÁÙ¾îµé °Í¡±À̶ó°í ¼³¸íÇß´Ù.

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